Спецификации

Функционалност други
-------------------
Отработени часове
Часове под захранване
Състояние добре
По местни норми ---------
Състояние

Описание

Производител: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 СИСТЕМА ЗА РАЗПРАШВАНЕ
3 ТАРГЕТИ
АВТОМАТИЧНО/РЪЧНО УПРАВЛЕНИЕ НА КЛАПАНИТЕ
МЕХАНИЧНА ПОМПА С ДИРЕКТНО ЗАДВИЖВАНЕ
ДИФУЗИОННА ПОМПА
МОЖЕ ДА БЪДЕ НАДГРАДЕНА С ВЪРТЯЩО СЕ ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ЗА ПОСТАВЯНЕ НА (4) 8" ПЛАСТИНИ

Airco Temescal HRS 2550 е система за разпрашване. Тя има 3 мишени, автоматичен/ръчен вентил, механична помпа с директно задвижване и дифузионна помпа. Също така има r/f захранване. Може да се надгради с възстановена глава за криопомпа CTI-10 с компресор.
Технически данни
Размери: Височина 16 инча x 25,5 инча
диаметър (406 mm x 647,7 mm)
Окомплектовка: каруселни вертикално монтирани държачи за субстрати, опционална възможност за флип-флоп
Капацитет: (минимум) 64 2-инчови (51 mm) пластини
Екраниране: минимум 3 отскока
Нагряване на субстрата: максимум 3 kW
Брой на катодите: максимум три Аргонов входящ ръчен клапан с мехово уплътнение и възможност за дозиране

Вакуумна кабина (включително корпус за електроника): Височина 82,5 инча (с шкафа)
горна конзола) x 64 инча ширина x 40 инча дълбочина (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Захранване (включително конзолите за управление):
36 инча височина х 25,5 инча ширина х 25,5 инча дълбочина (915 мм х 650 мм х 650 мм)
Типични скорости на статично отлагане: 15,000
A/минута алуминий, 20 000 A/минута мед
Разпределение: � 5% с маскиране на източника
Размер на мишената: 8,25 инча x 3,56 инча (210 mm x 90 mm)
Работно напрежение: -400 до -800 V DC катоден потенциал (пикови скорости на отлагане при
-400 до -500V DC)
Максимално ниво на работна мощност: 5 KW. 0,2 до 7A
Работно налягане: 1 x 10-2 до 1 x 10-3 torr
Охлаждаща вода: (0,5 gpm при 20�C) за източник

Изход: 5 kW, регулируем ток от 0,2A
до 7A; напрежение от 50V DC до 800V DC;
в зависимост от налягането
Цикъл на работа: 100%
Измерване: изходен ток от 0 до 1А и от 0 до
10A, DC скала; напрежение от катод до земя,
0 до 1,5 kV dc; напрежение анод-земя,
0 до 150 V DC
Блокировки: захранване, врати на кабината, вода, капак на камерата и налягане в камерата
Необходима поддръжка: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 фази

Максимален вакуум: 10-8 тора
Дифузионна помпа: 5300 литра/секунда, височина 10 инча x вътрешен диаметър 16 инча
Механична помпа: 35 cfm (1000 литра/секунда, двустепенна
Студоуловител: капацитет 4,5 литра; повърхност 2600 кв. инча (1,67 m2)
Вентил за висок вакуум: 16-инчов (406 мм) вътрешен диаметър, със силово уплътнение
Байпасен клапан за висок вакуум: 3 инча (75 мм) вътрешен диаметър, с променлива проводимост
Вентил за гладуване и груб вентил: 2-инчов (51 mm) вътрешен обем
Задвижване на вентила: електропневматично (всички вакуумни вентили)
Последователност на клапаните: ръчна и автоматична

Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка


Тип клиент Дилър
Активен от 2014
Оферти онлайн 46
Последна дейност 19 Декември 2024

Описание

Производител: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 СИСТЕМА ЗА РАЗПРАШВАНЕ
3 ТАРГЕТИ
АВТОМАТИЧНО/РЪЧНО УПРАВЛЕНИЕ НА КЛАПАНИТЕ
МЕХАНИЧНА ПОМПА С ДИРЕКТНО ЗАДВИЖВАНЕ
ДИФУЗИОННА ПОМПА
МОЖЕ ДА БЪДЕ НАДГРАДЕНА С ВЪРТЯЩО СЕ ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ЗА ПОСТАВЯНЕ НА (4) 8" ПЛАСТИНИ

Airco Temescal HRS 2550 е система за разпрашване. Тя има 3 мишени, автоматичен/ръчен вентил, механична помпа с директно задвижване и дифузионна помпа. Също така има r/f захранване. Може да се надгради с възстановена глава за криопомпа CTI-10 с компресор.
Технически данни
Размери: Височина 16 инча x 25,5 инча
диаметър (406 mm x 647,7 mm)
Окомплектовка: каруселни вертикално монтирани държачи за субстрати, опционална възможност за флип-флоп
Капацитет: (минимум) 64 2-инчови (51 mm) пластини
Екраниране: минимум 3 отскока
Нагряване на субстрата: максимум 3 kW
Брой на катодите: максимум три Аргонов входящ ръчен клапан с мехово уплътнение и възможност за дозиране

Вакуумна кабина (включително корпус за електроника): Височина 82,5 инча (с шкафа)
горна конзола) x 64 инча ширина x 40 инча дълбочина (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Захранване (включително конзолите за управление):
36 инча височина х 25,5 инча ширина х 25,5 инча дълбочина (915 мм х 650 мм х 650 мм)
Типични скорости на статично отлагане: 15,000
A/минута алуминий, 20 000 A/минута мед
Разпределение: � 5% с маскиране на източника
Размер на мишената: 8,25 инча x 3,56 инча (210 mm x 90 mm)
Работно напрежение: -400 до -800 V DC катоден потенциал (пикови скорости на отлагане при
-400 до -500V DC)
Максимално ниво на работна мощност: 5 KW. 0,2 до 7A
Работно налягане: 1 x 10-2 до 1 x 10-3 torr
Охлаждаща вода: (0,5 gpm при 20�C) за източник

Изход: 5 kW, регулируем ток от 0,2A
до 7A; напрежение от 50V DC до 800V DC;
в зависимост от налягането
Цикъл на работа: 100%
Измерване: изходен ток от 0 до 1А и от 0 до
10A, DC скала; напрежение от катод до земя,
0 до 1,5 kV dc; напрежение анод-земя,
0 до 150 V DC
Блокировки: захранване, врати на кабината, вода, капак на камерата и налягане в камерата
Необходима поддръжка: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 фази

Максимален вакуум: 10-8 тора
Дифузионна помпа: 5300 литра/секунда, височина 10 инча x вътрешен диаметър 16 инча
Механична помпа: 35 cfm (1000 литра/секунда, двустепенна
Студоуловител: капацитет 4,5 литра; повърхност 2600 кв. инча (1,67 m2)
Вентил за висок вакуум: 16-инчов (406 мм) вътрешен диаметър, със силово уплътнение
Байпасен клапан за висок вакуум: 3 инча (75 мм) вътрешен диаметър, с променлива проводимост
Вентил за гладуване и груб вентил: 2-инчов (51 mm) вътрешен обем
Задвижване на вентила: електропневматично (всички вакуумни вентили)
Последователност на клапаните: ръчна и автоматична

Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка


Спецификации

Функционалност други
-------------------
Отработени часове
Часове под захранване
Състояние добре
По местни норми ---------
Състояние

Относно този продавач

Тип клиент Дилър
Активен от 2014
Оферти онлайн 46
Последна дейност 19 Декември 2024

Ето селекция от подобни машини

Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550