Описание
Фурна RTP ANNEALSYS AS-Micro от 2017 г. + помпа + компютър
Перфектно състояние. Дата 2017 г.
Доставя се с:
- Вакуумна помпа и евакуационна помпа Agilent IDP3A01
- контролен компютър, софтуер и потребителски код.
- ръководство
AS-Micro е компактен три-инчов настолен термичен процесор с възможност за вакуум, предназначен за изследователски приложения. Може да обработва субстрати от няколко квадратни милиметра до 3 инча в диаметър или квадрат. Предлагат се опционални фиксатори за задържане на малки проби и за обработка на субстрати с ниска инфрачервена абсорбция.
Камерата за обработка на кварцови тръби с фланци от неръждаема стомана и тръбна пещ с инфрачервени халогенни лампи позволява обработка до 1250°C с много бързи скорости на нарастване (> 250°C/s). Най-съвременният терморегулатор осигурява прецизен контрол на температурата.
Вратичката с хоризонтално движение с кварцова тава осигурява лесен достъп за зареждане и разтоварване на вафли и монтаж на термодвойка.
Характеристика
Пещта предлага най-високата скорост на нарастване до 250°C/s за 2" пластини.
Температурен диапазон: RT до 1250°C
Скорост на нарастване до 250°C/s върху силиконов субстрат с диаметър 2 инча, 200°C/s върху 3-инчов субстрат.
Възможност за смесване на газ с контролери за масов дебит
Вакуумен диапазон: Atm до 10-2 Torr (10-6 Torr с допълнителна турбо помпа)
Контрол на температурата чрез термодвойка с бърз цифров PID температурен контролер
Пълен компютърен контрол с Windows съвместим софтуер
за електрохимия и наноматериали лаборатория за полупроводници / полупроводници / вафли
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка