Описание
Суха вакуумна помпа iXH6045H
Преглед на продукта
Серията сухи помпи iXH е специално проектирана за взискателни процеси в производството на полупроводници, плоски дисплеи и соларни приложения. Тя предлага намалени разходи за притежание с 10% по-ниска консумация на енергия в сравнение с предишните модели. Помпата се отличава с подобрена обработка на праха с технологията Gas Buster™, широк работен температурен диапазон за минимизиране на натрупването на странични продукти и подобрена технология на уплътнението за удължаване на живота на помпата и намаляване на рисковете от течове.
Спецификации
Модел: ACHD02123300XS
Напрежение: 380-460 V
Високо напрежение: 6000V
Газов модул: Единичен режим (дебит 44 sL/min)
Изпускателна система: Стандартен без възвратен клапан
Уплътнения: Стандартен
Мотор на помпата: 11 kW
Двигател за повишаване на налягането: 7,5 kW
Приложения
Приложения с висок и нисък коефициент на к
Процеси SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN и EPI
CVD, PECVD и MOCVD
Източник за нанасяне на ленти, оксидно ецване, метално ецване и импланти
Технически спецификации
Размери:
Дължина: 1080 mm
Ширина: 517 мм
Височина: 966 мм
Производителност:
Скорост на изпомпване: 5000 - 5200 m³/h
Максимален вакуум: < 5 x 10-³ mbar
Максимално входно налягане: 1000 mbar
Охлаждане:
Дебит на водата: 12 л/мин
Налягане на подаваната вода: 6,9 bar (100 psig)
Основни характеристики
Високи скорости на изпомпване на водород, идеални за усъвършенствани процеси на EPI и слънчева енергия
Компактен дизайн с по-малки размери за лесно интегриране в производствени съоръжения
Съответствие със стандартите UL, CE и S2
Тази помпа е оптимизирана за взискателни среди, в които подобрените възможности на процеса, енергийната ефективност и компактният дизайн са от решаващо значение. За повече подробности и насоки за работа, моля, вижте пълното ръководство за продукта.
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка