Описание
Управлява се от PLC и предлага отчитане на работните параметри на системата в реално време на разбираем английски език, както и коригиращи действия в случай на прекъсване.
Активна плазма за рутинно почистване на повърхностите на пробите
RIE плазма за агресивно почистване на проби, които не са чувствителни към ESD
Безелектронна плазма за почистване на чувствителни електронни компоненти
Плазмената почистваща машина Glen R3A може да работи с единична или двойна плазмена последователност
Източник на плазмено захранване Advanced Energy PE-1000 AC; 500 W@ 40 kHz
Електроди: (2) 14 x 14-инчови комплекта електроди; възможност за поставяне на до 8 тави за проби
3 режима на плазмата:
АКТИВНА ПЛАЗМА за рутинно почистване на повърхностите на пробите
RIE PLASMA за агресивно почистване на проби, които не са чувствителни към EDD
БЕЗЕЛЕКТРОННА ПЛАЗМА за почистване на чувствителни електронни компоненти
Газови входове: два газови входа с иглени клапани, контролирани от PLC
Компютърен интерфейс: RS 232 интерфейс
Изисквания за захранване: 110Volt
Номинален ток при пълно натоварване: 13 ампера
Вакуумната помпа не е включена
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка