Описание
Автоматично откриване и класифициране на дефекти
Автоматизирана проверка на матрицата
Прецизна метрологична обработка на размерите
Метрология на критични размери (CD) и наслагване
Автоматична и ръчна работа
Откриване на дефекти по повърхността и ръбовете
Откриване на дефекти в текстурата (напр. петна и др.)
Откриване на липсващи или деформирани обекти
Широка възможност за преглед на дефекти
Графични карти и архивиране на изображения
Импортиране на CAD файлове
Системите за откриване на дефекти и метрология от серията NGS са предназначени за приложения, при които се изисква автоматизирано откриване на оптични дефекти и прецизни измервания на размерите на пластини и други части. Те са подходящи за двойна употреба като производствени инструменти или като универсални системи за разработване на процеси. Тези системи предлагат избор от висококачествени микроскопски компоненти (Olympus/Nikon/Leica), BF/ DF/ DIC осветление и линейни моторни постановки със скали от 0,02 микрона. Предлагат се няколко конфигурации в зависимост от вашите изисквания. Те включват:200-милиметрова платформа, 300-милиметрова платформа и роботизирана платформа за автоматизирана обработка на пластини и детайли.
Усъвършенствана система за измерване на размерите и откриване на дефекти на ниво вафла
Моторизиран етап с 8 "x8" XY ход
Моторизиран фокус
инспекция в светло и тъмно поле
Типично 5-100 дефекта/измервания в секунда
Скорост на постановка 200 mm/s
Софтуерно управлявана коаксиална и задна светлина (излъчена светлина) с двойно 150w оптично захранване
Максимален капацитет на натоварване на стъпалото 50lbs
Гранитна основа и Z-колона
Затворен контур на линейните стъпала и ос Z с обратна връзка за позицията и интелигентни енкодерни системи Micro-e Mercury 3500, осигуряващи по-добра от 1um разделителна способност
Софтуер: RMS Vision Systems с цветни графики, архивиране на изображения и офлайн преглед на дефекти
Микроскоп Nikon с моторизирано завъртане на обектива, накланяща се ултраширока тринокулярна глава за наблюдение с 10x окуляри
Hitachi CCTV, Windows XP
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка