Полупроводникова машина PVD Products, USA NANO PLD 1000 Проверен продавач

Спецификации

-------------------
Отработени часове
Часове под захранване
Състояние отлично
По местни норми ---------
Състояние в производството

Описание

Системата Nano PLD-1000 е напълно интегриран инструмент за лазерно отлагане на многослойни слоеве върху субстрати с диаметър до 2 инча. Тя използва три енергийни източника: кохерентен ламбда лазер PhysikCOMPex PRO 110, източник на магнетронно разсейване и йонен източник Veeco 3 cm.

Основни компоненти и спецификации:
Лазерна система: PhysikCOMPex PRO 110 Ламбда ексимерен лазер (248 nm, KrF) с технология Ceramic Tube, скорост на повторение до 100 Hz и 20 MWt/импулс.
Магнетронен източник: Магнетрон PVD Products Titan с диаметър на мишената 5 cm, работещ в режим на постоянен ток (макс. 400 W) или радиочестотен ток (макс. 300 W) при налягания от 0,5 mTorr до 1 Torr.
Източник на йони: Йонният източник Veeco с диаметър 3 cm с фокусиращи решетки, неутрализатор, енергия на лъча 50-1200 eV и максимален ток 100 mA.
Вакуумна система:
Вакуумна камера с фланци за аксесоари (напр. спектроскопия, йонно оръдие). Включва вакуумна сонда с водно охлаждане на Pfeiffer, турбопомпа (250 l/s, 60 000 об./мин.) и ротационна помпа.
Вакуумни манометри: InstruTech Convectron (атмосферен до 10^-3 Torr) и Hornet Bayard-Alpert (до 10^-9 Torr).
Цифров дебитомер MKS (50 sccm), калибриран за кислород, с ръчно изключване.
Оптични и манипулационни функции:
Фиксиран оптичен тракт с дължина на вълната 248 nm, 2-инчови HR огледала и 60° ъгъл на падане на лазера за намаляване на замърсяването.
Трипозиционен манипулатор за мишени (3" или 6 x 2", максимална дебелина 6 mm) с компютъризиран избор и въртене до 50 об/мин.
Работа с подложки:
Нагревател на субстрата (макс. 6000°C) с водно охлаждане. Разстояние между мишената и субстрата: 75 mm.
Програмируем люк за смяна на пробите с моторизирана скоба по ос Z (ход 2") и турбопомпа (70 л/сек, 90 000 об/мин). Основно налягане: < 5 x 10^-8 Torr.
Допълнителни функции:
Система Nano PLD IW Intelligent Window с диск от кварцово стъкло и разделител на лъча за разширена чистота на оптичния път.
Оптичен пирометър (спектрален обхват 0,78-1,06 μm) за наблюдение на температурата на субстрата (500-2000 °C).
Масови дебитомери, воден охладител, въздушен компресор и ротационен модул на субстрата (до 40 об./мин.) за равномерно отлагане на филм.

Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка


pvd-products-usa-nano-pld-1000-p241126370_3.pdf Изтегли
Тип клиент Потребител - МСП
Активен от 2024
Оферти онлайн 2
Последна дейност 26 Ноември 2024

Описание

Системата Nano PLD-1000 е напълно интегриран инструмент за лазерно отлагане на многослойни слоеве върху субстрати с диаметър до 2 инча. Тя използва три енергийни източника: кохерентен ламбда лазер PhysikCOMPex PRO 110, източник на магнетронно разсейване и йонен източник Veeco 3 cm.

Основни компоненти и спецификации:
Лазерна система: PhysikCOMPex PRO 110 Ламбда ексимерен лазер (248 nm, KrF) с технология Ceramic Tube, скорост на повторение до 100 Hz и 20 MWt/импулс.
Магнетронен източник: Магнетрон PVD Products Titan с диаметър на мишената 5 cm, работещ в режим на постоянен ток (макс. 400 W) или радиочестотен ток (макс. 300 W) при налягания от 0,5 mTorr до 1 Torr.
Източник на йони: Йонният източник Veeco с диаметър 3 cm с фокусиращи решетки, неутрализатор, енергия на лъча 50-1200 eV и максимален ток 100 mA.
Вакуумна система:
Вакуумна камера с фланци за аксесоари (напр. спектроскопия, йонно оръдие). Включва вакуумна сонда с водно охлаждане на Pfeiffer, турбопомпа (250 l/s, 60 000 об./мин.) и ротационна помпа.
Вакуумни манометри: InstruTech Convectron (атмосферен до 10^-3 Torr) и Hornet Bayard-Alpert (до 10^-9 Torr).
Цифров дебитомер MKS (50 sccm), калибриран за кислород, с ръчно изключване.
Оптични и манипулационни функции:
Фиксиран оптичен тракт с дължина на вълната 248 nm, 2-инчови HR огледала и 60° ъгъл на падане на лазера за намаляване на замърсяването.
Трипозиционен манипулатор за мишени (3" или 6 x 2", максимална дебелина 6 mm) с компютъризиран избор и въртене до 50 об/мин.
Работа с подложки:
Нагревател на субстрата (макс. 6000°C) с водно охлаждане. Разстояние между мишената и субстрата: 75 mm.
Програмируем люк за смяна на пробите с моторизирана скоба по ос Z (ход 2") и турбопомпа (70 л/сек, 90 000 об/мин). Основно налягане: < 5 x 10^-8 Torr.
Допълнителни функции:
Система Nano PLD IW Intelligent Window с диск от кварцово стъкло и разделител на лъча за разширена чистота на оптичния път.
Оптичен пирометър (спектрален обхват 0,78-1,06 μm) за наблюдение на температурата на субстрата (500-2000 °C).
Масови дебитомери, воден охладител, въздушен компресор и ротационен модул на субстрата (до 40 об./мин.) за равномерно отлагане на филм.

Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка


Спецификации

-------------------
Отработени часове
Часове под захранване
Състояние отлично
По местни норми ---------
Състояние в производството

Относно този продавач

Тип клиент Потребител - МСП
Активен от 2024
Оферти онлайн 2
Последна дейност 26 Ноември 2024

Ето селекция от подобни машини

Полупроводникова машина PVD Products, USA NANO PLD 1000