Описание
SSEC CLEAN 3300
МОДЕЛ: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Дата на производство: 8/30/05
AC Dwg № 330i1712
1) пластината се потапя в смес от разтворители (т.нар. почистване чрез потапяне)
2) има обработка чрез разпръскване на разтворители (т.нар. обработка чрез разпръскване с вентилатор) и етап на сушене с азот.
Устройството разполага с т.нар. система dry-in/dry-out (сухи пластини в/от сухи пластини).
Почистването на TSV след DRIE ецване е от съществено значение за надеждността на 2,5D и 3D интегрални схеми. Патентованата технология на SSEC
технология за накисване и пръскане минимизира времето за пръскане и използването на химикали за по-ниска цена на притежание от
конвенционалните подходи на мокър стенд или единично пръскане; тя постига 100% фоторезист и странична стена
отстраняване на флуорополимера 5 пъти по-бързо от самото пръскане.
Инструментът е снабден със софтуер за контрол на процеса. Всяка пластина се накисва в загрята, рециркулираща
разтворител достатъчно дълго, за да проникне в полимерните остатъци. След мокрото прехвърляне към станцията за пръскане
вафлата се подлага на пръскане под високо налягане, за да се отстранят бързо останалите остатъци. Резултатът е 100%
отстраняване на фоторезиста и полимера. Накисването и пръскането отнема 88 % по-малко време и 77,5 % по-малко химикали в сравнение с
само с пръскане.
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка