Описание
Контролер за термичен патронник и система за термозатягане
Системата TP03500 се състои от контролер с нисък шум; вакуумен патронник с контролирана температура и избор на опции за охлаждане. Предлага се в диаметри от 200 mm (8 инча) или 300 mm (12 инча), ThermoChuck побира различни размери на пластини. Всички ThermoChucks имат способността да затварят външните вакуумни пръстени за по-добро „задържане“ на по-малки вафли. Повърхността на патронника е електрически изолирана и покрита (злато, никел, анодизирано или друго) за вашето приложение.
За характеризиране на устройството и аналитични измервания на пластини и хибриди, когато целта е да се поддържа контакт със сондата по време на температурни отклонения, Temptronic предлага ThermoChuck с постоянна височина. Проектиран с помощта на патентована технология на Temptronic, ThermoChuck с постоянна височина поддържа растеж до 50 микрона и плоскост до 50 микрона в целия температурен диапазон.
Характеристика
- Патентованият дизайн ThermoChuck осигурява изключителна термична и механична стабилност и прецизност
- Превъзходна температурна равномерност:
- Равност на повърхността
- Паралелност на повърхността към основата: <20 микрона при +200°C
- Повърхностна изолация: > 109 ома стандартно; >1014 ома налични
- Системата за управление на постоянен ток с нисък шум поддържа електрическия шум до минимум
- Модулен системен дизайн за удобни, икономически ефективни надстройки на системата като диаметър на пластината
и температурните изисквания се променят
- CE одобрен, ETL вписан за САЩ и Канада и съвместим със стандартите SEMI S2-93A
Моля, имайте предвид, че това описание може да е преведено автоматично. Свържете се с нас за допълнителна информация. Информацията в тази малка обява е ориентировъчна. Exapro препоръчва да проверите подробностите с продавача преди покупка