popis
Výrobce: Výrobce: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 ROZPRAŠOVACÍ SYSTÉM
3 TARGETY
AUTOMATICKÉ/MANUÁLNÍ VENTILOVÁNÍ
MECHANICKÉ ČERPADLO S PŘÍMÝM POHONEM
DIFUZNÍ ČERPADLO
LZE ROZŠÍŘIT O ROTAČNÍ PŘÍPRAVEK PRO ULOŽENÍ (4) 8" DESTIČEK
Airco Temescal HRS 2550 je naprašovací systém. Má 3 terče, automatické/manuální ventilování, mechanické čerpadlo s přímým pohonem a difuzní čerpadlo. Má také r/f napájení. Lze upgradovat na přestavěnou kryočerpadlovou hlavu CTI-10 s kompresorem.
Technické údaje
Rozměry: Výška 16 palců x 25,5 palce.
průměr (406 mm x 647,7 mm)
Upevnění: karuselové vertikálně montované držáky substrátů, volitelná možnost převrácení.
Kapacita: (minimálně) 64 2palcových (51 mm) destiček
Stínění: minimálně 3 odskoky
Teplo substrátu: maximálně 3 kW
Počet katod: maximálně tři Přívod argonu s měchovým těsněním, ruční ventil s možností dávkování
Vakuová kabina (včetně krytu elektroniky): Výška 82,5 palce (se skříní)
horní konzolou) x 64 palců šířka x 40 palců hloubka (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Napájení (včetně ovládacích konzolí):
36 palců výška x 25,5 palce šířka x 25,5 palce hloubka (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Typická rychlost statického ukládání: 15,000
A/minutu hliník, 20 000 A/minutu měď
Rozložení: � 5 % s maskováním zdroje
Velikost terče: 8,25 palce x 3,56 palce (210 mm x 90 mm)
Provozní napětí: -400 až -800 V stejnosměrného katodového potenciálu (špičkové rychlosti depozice při
-400 až -500V DC)
Maximální provozní výkon: 5 KW. 0,2 až 7 A
Provozní tlak: 1 x 10-2 až 1 x 10-3 torr
Chladicí voda: (0,5 g/min při 20 °C) na zdroj
Výstupní výkon: 1,5 l/s (1,5 l/s): 5 kW, nastavitelný proud od 0,2 A
až 7 A; napětí od 50 V DC do 800 V DC;
v závislosti na tlaku
Pracovní cyklus: 100 %
Měření: výstupní proud, 0 až 1A a 0 až
10A, stejnosměrná stupnice; napětí katoda-zem,
0 až 1,5 kV ss; napětí anoda-zem,
0 až 150 V DC
Blokování: napájení, dveře kabiny, voda, víko komory a tlak v komoře
Požadovaná obsluha: 208/230 V AC, 25 A, 50/60 Hz, 3 fáze
Mezní vakuum: rozsah 10-8 torrů
Difuzní vývěva: 5300 litrů za sekundu, výška 10 palců x průměr 16 palců
Mechanické čerpadlo: 35 cfm (1000 litrů za sekundu, dvoustupňové).
Studený sifon: objem 4,5 litru; plocha 2600 čtverečních palců (1,67 m2)
Vysoký podtlakový ventil: 16palcový (406 mm) vnitřní průměr, měchové těsnění
Obtokový ventil pro vysoké vakuum: 3palcový (75 mm), s proměnnou průchodností
Hladinový ventil a hrubovací ventil: 2-palcový (51 mm) vnitřní průměr.
Ovládání ventilů: elektropneumatické (všechny vakuové ventily).
Sekvence ventilů: manuální a automatická
Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce