popis
Suchá vývěva iXH6045H
Přehled produktů
Řada suchých vývěv iXH je speciálně navržena pro náročné procesy ve výrobě polovodičů, plochých displejů a solárních aplikací. Nabízí nižší náklady na vlastnictví s o 10 % nižší spotřebou energie ve srovnání s předchozími modely. Čerpadlo se vyznačuje vylepšenou manipulací s práškem díky technologii Gas Buster™, širokým rozsahem provozních teplot pro minimalizaci hromadění vedlejších produktů a vylepšenou technologií těsnění pro prodloužení životnosti čerpadla a snížení rizika netěsnosti.
Specifikace
Model: ACHD02123300XS
Napětí: 380-460 V
Vysoké napětí: 6000V
Plynový modul: (průtok 44 sL/min)
Výfuk: Standardní bez zpětného ventilu
Standardní
Motor čerpadla: Čerpadlo: 11 kW
Posilovací motor: 7,5 kW
Aplikace
Aplikace s vysokým a nízkým k
Procesy SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN a EPI.
CVD, PECVD a MOCVD
Páskování/leptání, leptání oxidů, leptání kovů a zdroj implantátů
Technické specifikace
Rozměry:
Délka: 1080 mm
Šířka: 517 mm
Výška: 966 mm
Výkon:
Rychlost čerpání: 5000 - 5200 m³/h
Mezní podtlak: < 5 x 10-³ mbar
Maximální vstupní tlak: 1000 mbar
Chlazení:
Průtok vody: 12 l/min
Přívodní tlak vody: 6,9 bar (100 psig)
Klíčové vlastnosti
Vysoké rychlosti čerpání vodíku ideální pro pokročilé procesy EPI a solární procesy.
Kompaktní konstrukce s menšími rozměry pro snadnou integraci do výrobních zařízení
Shoda s normami UL, CE a S2
Toto čerpadlo je optimalizováno pro náročná prostředí, kde je rozhodující zvýšená schopnost procesu, energetická účinnost a kompaktní design. Další podrobnosti a provozní pokyny naleznete v kompletní příručce k výrobku.
Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce