popis
Systém Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
12" (průměr) x 20" (hloubka) křemenný sud
měkké čerpání a proplachovací ventil
konstrukce s nízkým obsahem částic
2ea vstupy pro plyn s hmotnostním průtokem s VCR šroubením
všechny vodovodní rozvody SS,
vícekanálový/jednokanálový počítač řízený disketovým úložištěm
monitor teploty
ENI OEM 12B 1250W RF generátor
Velikost destiček: 4", 6", 8" možnost použití
Kapacita: 50 8" destiček, 50-75 6" destiček, 100 4" destiček.
Komora: Křemenné, kompatibilní s fluorovanou chemií. Průměr 12" x hloubka 20". Vnější RF elektrody.
RF generátor: Vzduchem chlazený generátor 1250 W 13,56 MHz s automatickou sítí impedančního přizpůsobení. Volitelně vodou chlazený.
Procesní tlak: Přibližně 120 - 2000 mtorr.
Instalatérské rozvody z nerezové oceli.
Monitor teploty: Křemenný termočlánek umístěný v procesní komoře.
Displej: Barevný 12,1" dotykový displej pro ovládání a sledování procesních parametrů, automatických receptur nebo ručního ošetření plazmou.
Čtyři plyny zadané uživatelem, s MFC z nerezové oceli o objemu 500 sccm, jsou standardně dodávány s možností volitelného 3. a/nebo 4. plynového kanálu.
Požadavky na napájení: 208 - 240 V, 3 fáze, 50/60 Hz, 5 vodičů "wye".
Nástěnná skříň NEMA-12 s uzamykatelnou rukojetí obsahuje ovládání střídavého proudu pro asher, napájecí zdroj a čerpadlo, umožňuje pokles jednoho zdroje pro celý systém.
Certifikát CE.
Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce