Kategorie
Začněte prodávat

Účet

Přihlásit se
Založit účet

Účet

Přihlásit se
Založit účet
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370

Polovodičový stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000 Ověřený prodejce

Cena na vyžádání

Udělat nabídku
Výrobce PVD Products, USA
Model NANO PLD 1000
Rok 2014
Umístění stroje Rumunsko RO
Kategorie Polovodiče - Různé
Produktové číslo P241126370
Jazyk
bg Полупроводникова машина PVD Products, USA NANO PLD 1000
cs Polovodičový stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
da PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvleder maskine
de PVD Products, USA NANO PLD 1000 Sondere Halbleiter Maschine
el Μηχανή ημιαγωγών PVD Products, USA NANO PLD 1000
en Laser Ablation Thin Film Deposition System
es Máquina semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
fr Equipement de semi-conducteur PVD Products, USA NANO PLD 1000
hr Poluvodički stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
hu PVD Products, USA NANO PLD 1000 Félvezető gép
it Macchina di semiconduttori PVD Products, USA NANO PLD 1000
lt Puslaidininkinė mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
nl PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halfgeleidermachine
pl Maszyna do półprzewodników PVD Products, USA NANO PLD 1000
pt Máquina semicondutora PVD Products, USA NANO PLD 1000
ro Mașină cu semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
ru PVD Products, USA NANO PLD 1000 Оборудование для полупроводников
sr Poluprovodnička mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
sv PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvledarmaskin
tr Yarı İletken Makinası PVD Products, USA NANO PLD 1000

Podrobné informace

-------------------
Hodin v provozu
Hodin pod proudem
Stav výborný
CE normy ---------
Status v produkci

popis

Systém Nano PLD-1000 je plně integrovaný laserový přístroj pro nanášení vícevrstvých vrstev na substráty o průměru až 2 palce. Využívá tři zdroje energie: koherentní lambda laser PhysikCOMPex PRO 110, magnetronový rozptylový zdroj a 3cm iontový zdroj Veeco.

Klíčové komponenty a specifikace:
Laserový systém: Sada: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimerový laser (248 nm, KrF) s technologií Ceramic Tube, opakovací rychlostí až 100 Hz a výkonem 20 MWatt/impuls.
Magnetronový zdroj: Magnetron PVD Products Titan s průměrem terče 5 cm, pracující v režimu DC (max. 400 W) nebo RF (max. 300 W) při tlaku od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Zdroj iontů: Iontový zdroj Veeco o průměru 3 cm s fokusačními mřížkami, neutralizátorem, energií svazku 50-1200 eV a maximálním proudem 100 mA.
Vakuový systém:
Vakuová komora s přírubami pro příslušenství (např. spektroskopie, iontové dělo). Obsahuje vodou chlazenou vakuovou sondu Pfeiffer, turbo vývěvu (250 l/s, 60 000 ot./min.) a rotační vývěvu.
Vakuoměry: InstruTech Convectron (atmosférický až 10^-3 Torr) a Hornet Bayard-Alpert (až 10^-9 Torr).
Digitální průtokoměr MKS (50 sccm) kalibrovaný pro kyslík s ručním vypínáním.
Optické a manipulační funkce:
Pevná optická dráha s vlnovou délkou 248 nm, 2palcová HR zrcadla a 60° úhel dopadu laseru pro snížení kontaminace.
Třípolohový manipulátor terče (3" nebo 6 x 2", max. tloušťka 6 mm) s počítačovou volbou a otáčením až 50 ot/min.
Manipulace se substrátem:
Vyhřívání substrátu (max. 6000 °C) s vodou chlazeným povlakem. Vzdálenost cíl-substrát: 75 mm.
Programovatelný poklop pro výměnu vzorků s motorizovaným držákem v ose Z (zdvih 2") a turbočerpadlem (70 l/s, 90 000 ot./min.). Základní tlak: < 5 x 10^-8 Torr.

Systém Nano PLD IW Intelligent Window s diskem z křemenného skla a rozdělovačem paprsku pro rozšířenou čistotu optické dráhy.
Optický pyrometr (spektrální rozsah 0,78-1,06 μm) pro sledování teploty substrátu (500-2000 °C).
Hmotnostní průtokoměry, vodní chladič, vzduchový kompresor a rotační sestava substrátu (až 40 ot./min.) pro rovnoměrné nanášení filmu.

Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce


pvd-products-usa-nano-pld-1000-p241126370_3.pdf Stáhnout
Typ klienta Koncový uživatel
Aktivní od 2024
Nabídek online 2
Poslední aktivita 26. listopadu 2024

Popis

Systém Nano PLD-1000 je plně integrovaný laserový přístroj pro nanášení vícevrstvých vrstev na substráty o průměru až 2 palce. Využívá tři zdroje energie: koherentní lambda laser PhysikCOMPex PRO 110, magnetronový rozptylový zdroj a 3cm iontový zdroj Veeco.

Klíčové komponenty a specifikace:
Laserový systém: Sada: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimerový laser (248 nm, KrF) s technologií Ceramic Tube, opakovací rychlostí až 100 Hz a výkonem 20 MWatt/impuls.
Magnetronový zdroj: Magnetron PVD Products Titan s průměrem terče 5 cm, pracující v režimu DC (max. 400 W) nebo RF (max. 300 W) při tlaku od 0,5 mTorr do 1 Torr.
Zdroj iontů: Iontový zdroj Veeco o průměru 3 cm s fokusačními mřížkami, neutralizátorem, energií svazku 50-1200 eV a maximálním proudem 100 mA.
Vakuový systém:
Vakuová komora s přírubami pro příslušenství (např. spektroskopie, iontové dělo). Obsahuje vodou chlazenou vakuovou sondu Pfeiffer, turbo vývěvu (250 l/s, 60 000 ot./min.) a rotační vývěvu.
Vakuoměry: InstruTech Convectron (atmosférický až 10^-3 Torr) a Hornet Bayard-Alpert (až 10^-9 Torr).
Digitální průtokoměr MKS (50 sccm) kalibrovaný pro kyslík s ručním vypínáním.
Optické a manipulační funkce:
Pevná optická dráha s vlnovou délkou 248 nm, 2palcová HR zrcadla a 60° úhel dopadu laseru pro snížení kontaminace.
Třípolohový manipulátor terče (3" nebo 6 x 2", max. tloušťka 6 mm) s počítačovou volbou a otáčením až 50 ot/min.
Manipulace se substrátem:
Vyhřívání substrátu (max. 6000 °C) s vodou chlazeným povlakem. Vzdálenost cíl-substrát: 75 mm.
Programovatelný poklop pro výměnu vzorků s motorizovaným držákem v ose Z (zdvih 2") a turbočerpadlem (70 l/s, 90 000 ot./min.). Základní tlak: < 5 x 10^-8 Torr.

Systém Nano PLD IW Intelligent Window s diskem z křemenného skla a rozdělovačem paprsku pro rozšířenou čistotu optické dráhy.
Optický pyrometr (spektrální rozsah 0,78-1,06 μm) pro sledování teploty substrátu (500-2000 °C).
Hmotnostní průtokoměry, vodní chladič, vzduchový kompresor a rotační sestava substrátu (až 40 ot./min.) pro rovnoměrné nanášení filmu.

Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce

Podrobné informace

-------------------
Hodin v provozu
Hodin pod proudem
Stav výborný
CE normy ---------
Status v produkci

Informace o prodejci

Typ klienta Koncový uživatel
Aktivní od 2024
Nabídek online 2
Poslední aktivita 26. listopadu 2024

Tady je nabídka podobných strojů

Ukázat všechny alternativy

Načítání podobných strojů...

Kategorie

menu Kategorie Hledat

menu

Začněte prodávat

Polovodičový stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000