popis
SSEC CLEAN 3300
MODEL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Datum výroby: 30. 8. 2005
AC Dwg č. 330i1712
1) destička se namočí do směsi rozpouštědel (tzv. čištění ponořením).
2) následuje zpracování rozpouštědly ve spreji (tzv. Fan Spray Processing) a fáze sušení dusíkem.
Jednotka má tzv. systém dry-in/dry-out (suché destičky in/suché destičky ven).
Čištění TSV po leptání DRIE je nezbytné pro spolehlivost 2,5D a 3D integrovaných obvodů. Patentovaná technologie společnosti SSEC
technologie namáčení a stříkání minimalizuje dobu stříkání a spotřebu chemikálií, čímž se snižují náklady na vlastnictví oproti technologii
konvenční přístupy s mokrým stolem nebo s jedním nástřikem; dosáhla 100 % fotorezistu a bočních stěn.
fluoropolymeru 5x rychleji než pouze nástřik.
Nástroj je vybaven softwarem pro řízení procesu ve stejném čase. Každý plátek se namáčí ve vyhřívaném, recirkulujícím vzduchu.
rozpouštědle dostatečně dlouho na to, aby pronikl do zbytků polymeru. Po přenesení mokrého materiálu do stříkací stanice se
je destička podrobena vysokotlakému postřiku, aby se rychle odstranily zbývající zbytky. Výsledkem je 100%
odstranění fotorezistu a polymeru. Namáčení a stříkání zabere o 88 % méně času a o 77,5 % méně chemie než u technologie
než u procesů založených pouze na nástřiku.
Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce