Kategorier
Begynd at sælge

Konto

Log på
Opret en konto

Konto

Log på
Opret en konto
Airco Temescal HRS 2550 P240311905
Airco Temescal HRS 2550 P240311905

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system Verificeret sælger

Pris på forespørgsel

Kom med et modtilbud
Fabrikant Airco
Model Temescal HRS 2550
År
Beliggenhed hjort US
Kategori PCB diverse
Produkt-id P240311905
Sprog
bg Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550
cs Rozprašovací systém Airco Temescal Hrs 2550
da Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
de Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System
el Airco Temescal Hrs 2550 Σύστημα σπατουλαρίσματος
en Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering system
es Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550
fr Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550
hr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sustav prskanja
hu Airco Temescal Hrs 2550 porlasztó rendszer
it Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550
lt "Airco Temescal Hrs 2550" dulkinimo sistema
nl Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem
pl System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550
pt Sistema de pulverização catódica Airco Temescal Hrs 2550
ro Sistem Sputtering Airco Temescal Hrs 2550
ru Система напыления Airco Temescal Hrs 2550
sr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sistem za prskanje
sv Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
tr Airco Temescal Hrs 2550 Püskürtme sistemi

specifikationer

Funktionalitet andet
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer ---------
Status

Beskrivelse

Producent: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING-SYSTEM
3 MÅL
AUTOMATISK/MANUEL VENTIL
MEKANISK PUMPE MED DIREKTE DREV
DIFFUSIONSPUMPE
KAN OPGRADERES MED ROTERENDE ARMATUR TIL AT HOLDE (4) 8" WAFERE

Airco Temescal HRS 2550 er et sputteringssystem. Det har 3 mål, automatisk/manuel ventilering, mekanisk pumpe med direkte drev og diffusionspumpe. Har også en r/f-strømforsyning. Kan opgraderes til et ombygget CTI-10 kryopumpehoved med kompressor.
Tekniske data
Dimensioner: 16 tommer høj x 25,5 tommer
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Indretning: karrusel med lodret monterede substratholdere, valgfri flip-flop-mulighed
Kapacitet: (minimum) 64 wafere på 2 tommer (51 mm)
Afskærmning: minimum-3-bounce
Substratvarme: maksimalt 3 kW
Antal katoder: maksimalt tre Argon-indtag bælgforseglet manuel ventil med doseringsmulighed

Vakuumkabinet (inklusive elektronikkabinet): 82,5 tommer højt (med skabets
topkonsol) x 64 tommer bred x 40 tommer dyb (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Strømforsyning (inklusive kontrolkonsoller):
36 tommer høj x 25,5 tommer bred x 25,5 tommer dyb (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typiske statiske deponeringshastigheder: 15,000
A/minut aluminium, 20.000 A/minut kobber
Fordeling: � 5 % med kildemaskering
Målstørrelse: 8,25 tommer x 3,56 tommer (210 mm x 90 mm)
Driftsspænding: -400 til -800V dc katodepotentiale (maksimale deponeringshastigheder ved
-400 til -500V dc)
Maksimalt driftseffektniveau: 5 KW. 0,2 til 7A
Driftstryk: 1 x 10-2 til 1 x 10-3 torr
Kølevand: (0,5 gpm ved 20�C) pr. kilde

Udgangseffekt: 5 kW, strøm kan justeres fra 0,2A
til 7A; spænding fra 50V dc til 800V dc;
trykafhængig
Arbejdscyklus: 100 %.
Måling: udgangsstrøm, 0 til 1A, og 0 til
10A, dc-skala; katode-til-jord-spænding,
0 til 1,5 kV dc; anode-til-jord-spænding,
0 til 150 V dc
Interlocks: strømforsyning, kabinedøre, vand, kammerlåg og kammertryk
Nødvendig service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 faser

Ultimativt vakuum: 10-8 torr-område
Diffusionspumpe: 5300 liter/sekund, 10 tommer høj x 16 tommer i.d.
Mekanisk pumpe: 35 cfm (1000 liter/sekund, to trin)
Koldfælde: 4,5 liters kapacitet; 2600 kvadrattommer (1,67 m2) overfladeareal
Højvakuumventil: 406 mm (16 tommer) i.d., bælgforseglet
Bypass-ventil til højvakuum: 75 mm (3 tommer) i.d., variabel ledningsevne
Famine- og skrubbeventil: 51 mm (2 tommer) i.d.
Ventilaktivering: elektropneumatisk (alle vakuumventiler)
Ventilsekvensering: manuel og automatisk

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb


Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2014
Tilbud online 46
Sidste aktivitet 19. december 2024

Beskrivelse

Producent: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING-SYSTEM
3 MÅL
AUTOMATISK/MANUEL VENTIL
MEKANISK PUMPE MED DIREKTE DREV
DIFFUSIONSPUMPE
KAN OPGRADERES MED ROTERENDE ARMATUR TIL AT HOLDE (4) 8" WAFERE

Airco Temescal HRS 2550 er et sputteringssystem. Det har 3 mål, automatisk/manuel ventilering, mekanisk pumpe med direkte drev og diffusionspumpe. Har også en r/f-strømforsyning. Kan opgraderes til et ombygget CTI-10 kryopumpehoved med kompressor.
Tekniske data
Dimensioner: 16 tommer høj x 25,5 tommer
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Indretning: karrusel med lodret monterede substratholdere, valgfri flip-flop-mulighed
Kapacitet: (minimum) 64 wafere på 2 tommer (51 mm)
Afskærmning: minimum-3-bounce
Substratvarme: maksimalt 3 kW
Antal katoder: maksimalt tre Argon-indtag bælgforseglet manuel ventil med doseringsmulighed

Vakuumkabinet (inklusive elektronikkabinet): 82,5 tommer højt (med skabets
topkonsol) x 64 tommer bred x 40 tommer dyb (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Strømforsyning (inklusive kontrolkonsoller):
36 tommer høj x 25,5 tommer bred x 25,5 tommer dyb (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typiske statiske deponeringshastigheder: 15,000
A/minut aluminium, 20.000 A/minut kobber
Fordeling: � 5 % med kildemaskering
Målstørrelse: 8,25 tommer x 3,56 tommer (210 mm x 90 mm)
Driftsspænding: -400 til -800V dc katodepotentiale (maksimale deponeringshastigheder ved
-400 til -500V dc)
Maksimalt driftseffektniveau: 5 KW. 0,2 til 7A
Driftstryk: 1 x 10-2 til 1 x 10-3 torr
Kølevand: (0,5 gpm ved 20�C) pr. kilde

Udgangseffekt: 5 kW, strøm kan justeres fra 0,2A
til 7A; spænding fra 50V dc til 800V dc;
trykafhængig
Arbejdscyklus: 100 %.
Måling: udgangsstrøm, 0 til 1A, og 0 til
10A, dc-skala; katode-til-jord-spænding,
0 til 1,5 kV dc; anode-til-jord-spænding,
0 til 150 V dc
Interlocks: strømforsyning, kabinedøre, vand, kammerlåg og kammertryk
Nødvendig service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 faser

Ultimativt vakuum: 10-8 torr-område
Diffusionspumpe: 5300 liter/sekund, 10 tommer høj x 16 tommer i.d.
Mekanisk pumpe: 35 cfm (1000 liter/sekund, to trin)
Koldfælde: 4,5 liters kapacitet; 2600 kvadrattommer (1,67 m2) overfladeareal
Højvakuumventil: 406 mm (16 tommer) i.d., bælgforseglet
Bypass-ventil til højvakuum: 75 mm (3 tommer) i.d., variabel ledningsevne
Famine- og skrubbeventil: 51 mm (2 tommer) i.d.
Ventilaktivering: elektropneumatisk (alle vakuumventiler)
Ventilsekvensering: manuel og automatisk

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb

Specifikationer

Funktionalitet andet
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer ---------
Status

Om denne sælger

Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2014
Tilbud online 46
Sidste aktivitet 19. december 2024

Her er et udvalg af lignende maskiner

Se alle alternativer

Indlæser lignende maskiner...

Kategorier

Menu Kategorier Søg

Menu

Begynd at sælge

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system