specifikationer

Wafer-størrelse 20.32 cm
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer Ja
Status

Beskrivelse

Gasonics/IPC 9104 Aske/ætsesystem
12"(dia) x 20"(D) kvartstønde
blød pumpning og spuleventil
Design med lavt partikelindhold
2ea masseflow-gasindgange med VCR-fittings
alle SS-rørledninger,
multikanal/enkeltkort computerstyret, med diskettelager
temperaturovervågning

ENI OEM 12B 1250W RF-generator

Wafer-størrelse: 4", 6", 8" kapacitet

Kapacitet: 50 8"-wafere, 50-75 6"-wafere, 100 4"-wafere.

Kammer: Kvarts, kompatibel med fluoreret kemi. 12" diameter x 20" dyb. Eksterne RF-elektroder.

RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luftkølet med automatisk impedanstilpasningsnetværk. Vandkølet som tilvalg.

Proces tryk: Ca. 120 - 2000 mtorr.

Rørføring i rustfrit stål.

Temperaturovervågning: Kvartsbelagt termoelement placeret i proceskammeret.

Skærm: 12,1" berøringsskærm i farver til styring og overvågning af procesparametre, automatiske opskrifter eller manuelle plasmabehandlinger.

Fire brugerspecificerede gasser med 500 sccm MFC'er i rustfrit stål er standard med en valgfri 3. og/eller 4. gaskanal.

Strømkrav: 208 - 240 volt, 3 faser, 50/60 Hz 5-leder "wye".

Et NEMA-12 vægmonteringsskab med låsehåndtag indeholder AC-strømstyringen til asher, strømforsyning og pumpe, hvilket giver mulighed for et enkelt kildedrop til hele systemet.

CE-certificeret.

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb


Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2019
Tilbud online 73
Sidste aktivitet 21. november 2024

Beskrivelse

Gasonics/IPC 9104 Aske/ætsesystem
12"(dia) x 20"(D) kvartstønde
blød pumpning og spuleventil
Design med lavt partikelindhold
2ea masseflow-gasindgange med VCR-fittings
alle SS-rørledninger,
multikanal/enkeltkort computerstyret, med diskettelager
temperaturovervågning

ENI OEM 12B 1250W RF-generator

Wafer-størrelse: 4", 6", 8" kapacitet

Kapacitet: 50 8"-wafere, 50-75 6"-wafere, 100 4"-wafere.

Kammer: Kvarts, kompatibel med fluoreret kemi. 12" diameter x 20" dyb. Eksterne RF-elektroder.

RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luftkølet med automatisk impedanstilpasningsnetværk. Vandkølet som tilvalg.

Proces tryk: Ca. 120 - 2000 mtorr.

Rørføring i rustfrit stål.

Temperaturovervågning: Kvartsbelagt termoelement placeret i proceskammeret.

Skærm: 12,1" berøringsskærm i farver til styring og overvågning af procesparametre, automatiske opskrifter eller manuelle plasmabehandlinger.

Fire brugerspecificerede gasser med 500 sccm MFC'er i rustfrit stål er standard med en valgfri 3. og/eller 4. gaskanal.

Strømkrav: 208 - 240 volt, 3 faser, 50/60 Hz 5-leder "wye".

Et NEMA-12 vægmonteringsskab med låsehåndtag indeholder AC-strømstyringen til asher, strømforsyning og pumpe, hvilket giver mulighed for et enkelt kildedrop til hele systemet.

CE-certificeret.

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb


Specifikationer

Wafer-størrelse 20.32 cm
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer Ja
Status

Om denne sælger

Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2019
Tilbud online 73
Sidste aktivitet 21. november 2024

Her er et udvalg af lignende maskiner

Gasonics 9104 plasma asher