Beskrivelse
Gasonics/IPC 9104 Aske/ætsesystem
12"(dia) x 20"(D) kvartstønde
blød pumpning og spuleventil
Design med lavt partikelindhold
2ea masseflow-gasindgange med VCR-fittings
alle SS-rørledninger,
multikanal/enkeltkort computerstyret, med diskettelager
temperaturovervågning
ENI OEM 12B 1250W RF-generator
Wafer-størrelse: 4", 6", 8" kapacitet
Kapacitet: 50 8"-wafere, 50-75 6"-wafere, 100 4"-wafere.
Kammer: Kvarts, kompatibel med fluoreret kemi. 12" diameter x 20" dyb. Eksterne RF-elektroder.
RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luftkølet med automatisk impedanstilpasningsnetværk. Vandkølet som tilvalg.
Proces tryk: Ca. 120 - 2000 mtorr.
Rørføring i rustfrit stål.
Temperaturovervågning: Kvartsbelagt termoelement placeret i proceskammeret.
Skærm: 12,1" berøringsskærm i farver til styring og overvågning af procesparametre, automatiske opskrifter eller manuelle plasmabehandlinger.
Fire brugerspecificerede gasser med 500 sccm MFC'er i rustfrit stål er standard med en valgfri 3. og/eller 4. gaskanal.
Strømkrav: 208 - 240 volt, 3 faser, 50/60 Hz 5-leder "wye".
Et NEMA-12 vægmonteringsskab med låsehåndtag indeholder AC-strømstyringen til asher, strømforsyning og pumpe, hvilket giver mulighed for et enkelt kildedrop til hele systemet.
CE-certificeret.
Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb