Beskrivelse
Automatisk detektering og klassificering af defekter
Automatiseret inspektion af matricer
Præcisionsdimensionel metrologi
Måling af kritiske dimensioner (CD) og overlejringer
Automatisk og manuel betjening
Registrering af overflade- og kantdefekter
Detektering af teksturfejl (f.eks. pletter osv.)
Registrering af manglende eller deformerede objekter
Omfattende kapacitet til gennemgang af defekter
Grafiske kort og billedarkivering
Import af CAD-filer
NGS-seriens systemer til detektering af defekter og metrologi er designet til applikationer, hvor der er behov for automatiseret optisk detektering af defekter og præcisionsmålinger på wafere og andre dele. De er velegnede til dobbelt brug som produktionsværktøjer eller som alsidige procesudviklingssystemer. Disse systemer tilbyder et udvalg af avancerede mikroskopkomponenter (Olympus/Nikon/Leica), BF/ DF/ DIC-belysning og lineær motoropstilling med 0,02 mikron-skalaer. Der er flere konfigurationer til rådighed afhængigt af dine krav. Disse omfatter: en 200 mm platform, en 300 mm platform og en robotplatform til automatiseret wafer- og delhåndtering.
Avanceret dimensionel metrologi på waferniveau og system til detektering af defekter
motoriseret scene med 8"x8" XY-bevægelse
Motoriseret fokus
lysfelt- og mørkefeltinspektion
Typisk 5-100 defekter/målinger pr. sekund
200 mm/s iscenesættelseshastighed
Softwarestyret koaksial- og baggrundsbelysning (transmitteret lys) med dobbelte 150w fiberoptiske strømforsyninger
maksimal belastningskapacitet på 50 kg
granitbase og Z-søjle
lineære stadier med lukket sløjfe og Z-akse med positionsfeedback og Micro-e Mercury 3500 smart encoder-systemer giver bedre end 1um opløsning
Software: RMS Vision Systems med farvegrafik, billedarkivering og offline gennemgang af defekter
Nikon-mikroskop med motoriseret objektivrotation, vipbart ultrabredt trinokulært synshoved med 10x okularer
Hitachi CCTV, Windows XP
Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb