Beskrivelse
Nano PLD-1000-systemet er et fuldt integreret laserdeponeringsinstrument til flerlagsfilm på substrater på op til 2 tommer i diameter. Det bruger tre energikilder: PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda-laser, en magnetronspredningskilde og Veeco 3 cm-ionkilden.
Nøglekomponenter og specifikationer:
Lasersystem: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer-laser (248 nm, KrF) med Ceramic Tube-teknologi, op til 100 Hz repetitionshastighed og 20 MWatt/puls.
Magnetronkilde: PVD Products Titan-magnetron med en måldiameter på 5 cm, der fungerer i DC- (maks. 400 W) eller RF-tilstand (maks. 300 W) ved tryk fra 0,5 mTorr til 1 Torr.
Ionkilde: Veeco 3 cm ionkilde med fokusgitre, neutralisator, stråleenergi på 50-1200 eV og maks. strøm på 100 mA.
Vakuumsystem:
Vakuumkammer med flanger til tilbehør (f.eks. spektroskopi, ionkanon). Inkluderer en Pfeiffer-vandkølet vakuumsonde, turbopumpe (250 l/s, 60.000 RPM) og rotationspumpe.
Vakuummålere: InstruTech Convectron (atmosfærisk til 10^-3 Torr) og Hornet Bayard-Alpert (til 10^-9 Torr).
MKS digital flowmåler (50 sccm) kalibreret til oxygen med manuel lukning.
Optiske og manipulerende funktioner:
Fast optisk bane med 248 nm bølgelængde, 2-tommers HR-spejle og 60° laserindfaldsvinkel for reduceret kontaminering.
Målmanipulator med tre positioner (3" eller 6 x 2", maks. tykkelse 6 mm) med computerstyret valg og op til 50 RPM rotation.
Håndtering af substrat:
Substratvarmer (maks. 6000 °C) med vandkølet belægning. Afstand mellem mål og substrat: 75 mm.
Programmerbar luge til prøveskift med motoriseret Z-akse-beslag (2" slaglængde) og turbopumpe (70 l/s, 90.000 RPM). Basistryk: < 5 x 10^-8 Torr.
Yderligere funktioner:
Nano PLD IW Intelligent Window-system med en kvartsglasskive og strålesplitter for udvidet optisk renhed.
Optisk pyrometer (0,78-1,06 μm spektralområde) til overvågning af substrattemperatur (500-2000 °C).
Massestrømningsmåler, vandkøler, luftkompressor og roterende substratenhed (op til 40 RPM) til ensartet filmdeponering.
Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb