specifikationer

Software
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer ---------
Status

Beskrivelse

Wafer-/substratstørrelse: op til 6"/150 diameter

X, Y, Theta-trin
Planaritet over 6": <10 µm
Opløsning: 5 µm
Område for bevægelse: 155 x 155 mm
Belastningsslag på Y-aksen: 90 mm
Justeringsområde for Z-højde: 10 mm
Z-kontakt/adskillelsesslag: 3 mm
Theta-bevægelse (standard): 360°
Theta-bevægelse, fin (ekstraudstyr): ±10°

Borepatron
Planhed: 3 µm
Lodret stivhed 6": <15 µm/10 N

ProbeHead-plade
Fastgørelsestype: Vakuum, magnetisk, HF
Bevægelsesområde: 40 mm
Kontakt/adskillelsesslag: 0,2 mm
Repeterbarhed: 1 µm

Værktøj
Vakuum: -0,8 bar
Trykluft: 4 bar

Dimensioner og vægt
Bredde x dybde x højde: 490 x 490 x 480 mm
Vægt: 60 kg

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb


Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2019
Tilbud online 73
Sidste aktivitet 21. november 2024

Beskrivelse

Wafer-/substratstørrelse: op til 6"/150 diameter

X, Y, Theta-trin
Planaritet over 6": <10 µm
Opløsning: 5 µm
Område for bevægelse: 155 x 155 mm
Belastningsslag på Y-aksen: 90 mm
Justeringsområde for Z-højde: 10 mm
Z-kontakt/adskillelsesslag: 3 mm
Theta-bevægelse (standard): 360°
Theta-bevægelse, fin (ekstraudstyr): ±10°

Borepatron
Planhed: 3 µm
Lodret stivhed 6": <15 µm/10 N

ProbeHead-plade
Fastgørelsestype: Vakuum, magnetisk, HF
Bevægelsesområde: 40 mm
Kontakt/adskillelsesslag: 0,2 mm
Repeterbarhed: 1 µm

Værktøj
Vakuum: -0,8 bar
Trykluft: 4 bar

Dimensioner og vægt
Bredde x dybde x højde: 490 x 490 x 480 mm
Vægt: 60 kg

Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb


Specifikationer

Software
-------------------
Arbejdstimer
Timer under strøm
Stat godt
Efter lokale normer ---------
Status

Om denne sælger

Klienttype Forhandler
Aktiv siden 2019
Tilbud online 73
Sidste aktivitet 21. november 2024

Her er et udvalg af lignende maskiner

Suss PM-5 Prober