Beskrivelse
Termopatronstyring og termopatronsystem
TP03500-systemet består af en støjsvag controller; en temperaturstyret vakuumpatronsamling og dit valg af kølemuligheder. Tilgængelig i diametre på 200 mm (8 tommer) eller 300 mm (12 tommer), kan ThermoChucken rumme en række forskellige waferstørrelser. Alle ThermoChucks har evnen til at lukke for ydre vakuumringe for bedre at "holde ned" af mindre wafers. Patronoverfladen er elektrisk isoleret og belagt (guld, nikkel, anodiseret eller andet) til din anvendelse.
Til karakterisering af enheden og analytiske målinger på wafers og hybrider, når målet er at opretholde sondekontakt under temperaturudflugter, tilbyder Temptronic Constant Height ThermoChucken. Designet ved hjælp af Temptronics patenterede teknologi, fastholder Constant Height ThermoChuck vækst så lav som 50 mikron og fladhed til 50 mikron gennem hele temperaturområdet.
Funktioner
- Patenteret ThermoChuck-design giver enestående termisk og mekanisk stabilitet og præcision
- Overlegen temperaturensartethed:
- Overfladeplanhed
- Parallelisme mellem overflade og base: <20 mikron @+200°C
- Overfladeisolering: > 109 ohm standard; >1014 ohm tilgængelig
- Støjsvagt DC Control System holder elektrisk støj på et minimum
- Modulært systemdesign til praktiske, omkostningseffektive systemopgraderinger som waferdiameter
og temperaturkrav ændres
- CE-godkendt, ETL-listet for U.S.A. og Canada og i overensstemmelse med SEMI S2-93A-standarder
Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb