Beschreibung
RTP ANNEALSYS AS-Mikroofen von 2017 + Pumpe + Computer
Perfekter Zustand. Datum 2017.
Geliefert mit:
- Agilent IDP3A01 Vakuumpumpe und Evakuierungspumpe
- Computer, Software und Benutzercode steuern.
- Handbuch
Der AS-Micro ist ein kompakter thermischer 3-Zoll-Tischprozessor mit Vakuumfähigkeit für Forschungsanwendungen. Es kann Substrate von wenigen Quadratmillimetern bis zu 3 Zoll Durchmesser oder Quadrat verarbeiten. Optionale Suszeptoren sind erhältlich, um kleine Proben aufzunehmen und Substrate mit geringer Infrarotabsorption zu verarbeiten.
Die Quarzrohr-Prozesskammer mit Edelstahlflanschen und ein Rohrofen mit Infrarot-Halogenlampen ermöglichen die Verarbeitung bis zu 1250 °C mit sehr schnellen Anstiegsraten (> 250 °C/s). Der hochmoderne Temperaturregler sorgt für eine präzise Temperaturregelung.
Horizontale Bewegungstür mit Quarzschale bietet einfachen Zugang zum Be- und Entladen von Wafern und zur Installation von Thermoelementen.
Merkmale
Der Ofen bietet die höchste Anstiegsrate von bis zu 250 °C/s für 2-Zoll-Wafer.
Temperaturbereich: RT bis 1250°C
Anstiegsrate bis zu 250 °C/s auf Siliziumsubstrat mit 2 Zoll Durchmesser, 200 °C/s auf 3 Zoll Substrat.
Gasmischfähigkeit mit Massendurchflussreglern
Vakuumbereich: atm bis 10-2 Torr (10-6 Torr mit optionaler Turbopumpe)
Thermoelement-Temperaturregelung mit schnellem digitalen PID-Temperaturregler
Vollständige PC-Steuerung mit Windows-kompatibler Software
für Elektrochemie und Nanomaterialien Halbleiter- / Halbleiter- / Waferlabor
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