Gasonics 9104 Plasmaschleuder Verifizierter Verkäufer

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Hersteller	Gasonics
Typ	9104
Baujahr
Standort	USA
Kategorie	Halbleiter - Waferausrüstung
Produkt ID	P241023247
Sprache	Gasonics 9104 плазмен ашър Gasonics 9104 plazma asher Gasonics 9104 plasma asher Gasonics 9104 Plasmaschleuder Gasonics 9104 plasma asher Gasonics 9104 plasma asher Arandela de plasma Gasonics 9104 Gasonics 9104 cendres à plasma Gasonics 9104 plazma čistač Gasonics 9104 plazma asher Gasonics 9104 plasma asher "Gasonics" 9104 plazminis ašeris Gasonics 9104 plasma asher Laser plazmowy Gasonics 9104 Gasonics 9104 plasma asher Gasonics 9104 asher cu plasmă Gasonics 9104 плазменный ашер Gasonics 9104 plazma asher Gasonics 9104 plasma asher Gasonics 9104 plazma asher

Einzelheiten
Bezüglich der/die Besitzer /in

Detaillierte Informationen

Größe der Waffel	20.32 cm
-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand	gut
CE-Norm	Ja
Status

Beschreibung

Gasonics/IPC 9104 Asche/Ätzsystem
12"(Durchm.) x 20"(T) Quarzfass
Sanftes Pumpen und Entlüftungsventile
partikelarmes Design
2ea Massendurchfluss-Gaseingänge mit VCR-Anschlüssen
alle Rohrleitungen aus Edelstahl,
Mehrkanal-/Einplatinencomputer gesteuert, mit Floppy-Speicher
Temperaturüberwachung

ENI OEM 12B 1250W RF Generator

Wafergröße: 4", 6", 8" geeignet

Kapazität: 50 8"-Wafer, 50-75 6"-Wafer, 100 4"-Wafer.

Kammer: Quarz, kompatibel mit fluorhaltiger Chemie. 12" Durchmesser x 20" tief. Externe RF-Elektroden.

RF-Generator: 1250 Watt 13,56 MHz luftgekühlt mit automatischem Impedanzanpassungsnetzwerk. Wassergekühlt optional.

Prozessdruck: Ca. 120 - 2000 mtorr.

Verrohrung aus Edelstahl.

Temperaturüberwachung: Quarzbeschichtetes Thermoelement in der Prozesskammer.

Anzeige: Farbiger 12,1"-Touchscreen zur Steuerung und Überwachung von Prozessparametern, automatischen Rezepten oder manuellen Plasmabehandlungen.

Vier benutzerspezifische Gase mit 500 sccm Edelstahl-MFCs gehören zur Standardausstattung, optional ist ein dritter und/oder vierter Gaskanal erhältlich.

Stromanforderungen: 208 - 240 Volt, 3 Phasen, 50/60 Hz, 5-Draht-"Wye".

Ein NEMA-12-Wandgehäuse mit abschließbarem Griff enthält die Wechselstromsteuerung für den Ascher, die Stromversorgung und die Pumpe und ermöglicht eine einzige Stromquelle für das gesamte System.

CE-zertifiziert.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.

Art von Kunde	Händler
1. Registrierung	2019
Online Angeboten	73
Letzte log in	21. November 2024

Beschreibung

Detaillierte Informationen

Größe der Waffel	20.32 cm
-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand	gut
CE-Norm	Ja
Status

Bezüglich der/die Besitzer /in

Art von Kunde	Händler
1. Registrierung	2019
Online Angeboten	73
Letzte log in	21. November 2024

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