Beschreibung
SPS-gesteuert und bietet eine Echtzeit-Anzeige der Betriebsparameter des Systems in Klartext sowie Abhilfemaßnahmen im Falle eines Abbruchs.
Aktivplasma für die Routinereinigung von Probenoberflächen
RIE-Plasma für die aggressive Reinigung von nicht ESD-empfindlichen Proben
Nachgeschaltetes, elektronenfreies Plasma für die Reinigung empfindlicher elektronischer Komponenten
Der Glen R3A Plasmareiniger kann in einer einfachen oder doppelten Plasmasequenz betrieben werden
Advanced Energy PE-1000 AC Plasma Stromquelle; 500w@ 40khz
Elektroden: (2) 14 x 14-Zoll-Elektrodensätze; geeignet für bis zu 8 Probentabletts
3 Plasma-Modi:
ACTIVE PLASMA für die Routinereinigung von Probenoberflächen
RIE PLASMA für die aggressive Reinigung von nicht-ESD-empfindlichen Proben
DOWNSTREAM ELECTRON-FREE PLASMA für die Reinigung empfindlicher elektronischer Komponenten
Gaseingänge: zwei Gaseingänge mit Nadelventilen, PLC-gesteuert
Computer-Schnittstelle: RS 232-Schnittstelle
Stromanforderungen: 110Volt
Stromstärke bei Volllast: 13 Ampere
Vakuumpumpe nicht enthalten
Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.