Beschreibung
Automatische Defekterkennung und -klassifizierung
Automatisierte Werkzeuginspektion
Präzise dimensionale Metrologie
Kritische Dimensionen (CD) und Überlagerungsmetrologie
Automatischer und manueller Betrieb
Erkennung von Oberflächen- und Kantenfehlern
Erkennung von Texturdefekten (z. B. Flecken usw.)
Erkennung von fehlenden oder deformierten Objekten
Umfassende Defektüberprüfungsfunktion
Grafische Karten & Bildarchivierung
Import von CAD-Dateien
Die Defekterkennungs- und Messsysteme der NGS-Serie sind für Anwendungen konzipiert, bei denen eine automatische optische Defekterkennung und präzise Dimensionsmessungen an Wafern und anderen Teilen erforderlich sind. Sie eignen sich gut für den doppelten Einsatz als Produktionswerkzeuge oder als vielseitige Prozessentwicklungssysteme. Diese Systeme bieten eine Auswahl an hochwertigen Mikroskopkomponenten (Olympus/Nikon/Leica), BF/ DF/ DIC-Beleuchtung und Linearmotoren mit 0,02-Mikrometer-Skalen. Je nach Ihren Anforderungen sind verschiedene Konfigurationen verfügbar. Dazu gehören: eine 200-mm-Plattform, eine 300-mm-Plattform und eine Roboterplattform für die automatische Handhabung von Wafern und Teilen.
Hochentwickeltes System zur Dimensionsmessung und Fehlererkennung auf Waferebene
motorisierter Tisch mit 8 "x8" XY-Verfahrweg
motorisierter Fokus
Hellfeld- und DunkelfeldÂ-Inspektion
Typisch 5-100 Defekte/Messungen pro Sekunde
200mm/s Inspektionsgeschwindigkeit
softwaregesteuerte Koaxial- und Hintergrundbeleuchtung (Durchlicht) mit zwei 150-W-Glasfasernetzteilen
maximale Tragfähigkeit des Tisches: 50 lbs
Granitsockel und Z-Säule
Lineartische mit geschlossenem Regelkreis und Z-Achse mit Positionsrückmeldung und Micro-e Mercury 3500 Smart-Encoder-Systemen bieten eine Auflösung von mehr als 1 um
Software: RMS Vision Systems mit Farbgrafik, Bildarchivierung und Offline-Überprüfung von Defekten
Nikon-Mikroskop mit motorisierter Objektivdrehung, schwenkbarem, trinokularem Weitwinkel-Betrachtungskopf mit 10fach-Okularen
Hitachi CCTV, Windows XP
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