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PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370
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PVD Products, USA NANO PLD 1000 P241126370

PVD Products, USA NANO PLD 1000 Sondere Halbleiter Maschine Verifizierter Verkäufer

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Hersteller PVD Products, USA
Typ NANO PLD 1000
Baujahr 2014
Standort Rumänien RO
Kategorie Halbleiter - Sonstige
Produkt ID P241126370
Sprache
bg Полупроводникова машина PVD Products, USA NANO PLD 1000
cs Polovodičový stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
da PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvleder maskine
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el Μηχανή ημιαγωγών PVD Products, USA NANO PLD 1000
en Laser Ablation Thin Film Deposition System
es Máquina semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
fr Equipement de semi-conducteur PVD Products, USA NANO PLD 1000
hr Poluvodički stroj PVD Products, USA NANO PLD 1000
hu PVD Products, USA NANO PLD 1000 Félvezető gép
it Macchina di semiconduttori PVD Products, USA NANO PLD 1000
lt Puslaidininkinė mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
nl PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halfgeleidermachine
pl Maszyna do półprzewodników PVD Products, USA NANO PLD 1000
pt Máquina semicondutora PVD Products, USA NANO PLD 1000
ro Mașină cu semiconductor PVD Products, USA NANO PLD 1000
ru PVD Products, USA NANO PLD 1000 Оборудование для полупроводников
sr Poluprovodnička mašina PVD Products, USA NANO PLD 1000
sv PVD Products, USA NANO PLD 1000 Halvledarmaskin
tr Yarı İletken Makinası PVD Products, USA NANO PLD 1000

Detaillierte Informationen

-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand hervorragend
CE-Norm ---------
Status in Produktion

Beschreibung

Das System Nano PLD-1000 ist ein voll integriertes Laserdepositionsgerät für mehrschichtige Schichten auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 2 Zoll. Es nutzt drei Energiequellen: den PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda-Laser, eine Magnetron-Streuungsquelle und die Veeco 3 cm Ionenquelle.

Hauptkomponenten und Spezifikationen:
Lasersystem: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda Excimer-Laser (248-nm, KrF) mit Ceramic Tube Technologie, bis zu 100Hz Wiederholgeschwindigkeit und 20 MWatt/Puls.
Magnetron-Quelle: PVD Products Titan-Magnetron mit einem Targetdurchmesser von 5 cm, das im DC- (max. 400 W) oder RF-Modus (max. 300 W) bei Drücken von 0,5 mTorr bis 1 Torr arbeitet.
Ionenquelle: 3-cm-Ionenquelle von Veeco mit Fokusgittern, Neutralisator, Strahlenergie von 50-1200 eV und einem maximalen Strom von 100 mA.
Vakuum-System:
Vakuumkammer mit Flanschen für Zubehör (z. B. Spektroskopie, Ionenkanone). Umfasst eine wassergekühlte Pfeiffer-Vakuumsonde, eine Turbopumpe (250 l/s, 60.000 U/min) und eine Rotationspumpe.
Vakuum-Messgeräte: InstruTech Convectron (atmosphärisch bis 10^-3 Torr) und Hornet Bayard-Alpert (bis 10^-9 Torr).
Digitaler MKS-Durchflussmesser (50 sccm), kalibriert für Sauerstoff mit manueller Abschaltung.
Optische und Manipulationsmerkmale:
Fester optischer Pfad mit 248 nm Wellenlänge, 2-Zoll-HR-Spiegeln und 60° Lasereinfallswinkel für geringere Kontamination.
Zielmanipulator mit drei Positionen (3" oder 6 x 2", max. Dicke 6 mm) mit computergesteuerter Auswahl und Rotation mit bis zu 50 U/min.
Handhabung des Substrats:
Substratheizung (max. 6000°C) mit wassergekühlter Beschichtung. Ziel-Substrat-Abstand: 75 mm.
Programmierbare Klappe für Probenwechsel mit motorisierter Z-Achsen-Halterung (2" Hub) und Turbopumpe (70 l/s, 90.000 U/min). Basisdruck: < 5 x 10^-8 Torr.
Zusätzliche Merkmale:
Nano PLD IW Intelligentes Fenstersystem mit Quarzglasscheibe und Strahlteiler für erweiterte Reinheit des optischen Weges.
Optisches Pyrometer (0,78-1,06 μm Spektralbereich) zur Überwachung der Substrattemperatur (500-2000°C).
Massendurchflussmesser, Wasserkühler, Luftkompressor und Rotationssubstratanordnung (bis zu 40 U/min) für eine gleichmäßige Schichtabscheidung.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


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Art von Kunde Endbenutzer - KMU
1. Registrierung 2024
Online Angeboten 2
Letzte log in 26. November 2024

Beschreibung

Das System Nano PLD-1000 ist ein voll integriertes Laserdepositionsgerät für mehrschichtige Schichten auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 2 Zoll. Es nutzt drei Energiequellen: den PhysikCOMPex PRO 110 Coherent Lambda-Laser, eine Magnetron-Streuungsquelle und die Veeco 3 cm Ionenquelle.

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Lasersystem: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda Excimer-Laser (248-nm, KrF) mit Ceramic Tube Technologie, bis zu 100Hz Wiederholgeschwindigkeit und 20 MWatt/Puls.
Magnetron-Quelle: PVD Products Titan-Magnetron mit einem Targetdurchmesser von 5 cm, das im DC- (max. 400 W) oder RF-Modus (max. 300 W) bei Drücken von 0,5 mTorr bis 1 Torr arbeitet.
Ionenquelle: 3-cm-Ionenquelle von Veeco mit Fokusgittern, Neutralisator, Strahlenergie von 50-1200 eV und einem maximalen Strom von 100 mA.
Vakuum-System:
Vakuumkammer mit Flanschen für Zubehör (z. B. Spektroskopie, Ionenkanone). Umfasst eine wassergekühlte Pfeiffer-Vakuumsonde, eine Turbopumpe (250 l/s, 60.000 U/min) und eine Rotationspumpe.
Vakuum-Messgeräte: InstruTech Convectron (atmosphärisch bis 10^-3 Torr) und Hornet Bayard-Alpert (bis 10^-9 Torr).
Digitaler MKS-Durchflussmesser (50 sccm), kalibriert für Sauerstoff mit manueller Abschaltung.
Optische und Manipulationsmerkmale:
Fester optischer Pfad mit 248 nm Wellenlänge, 2-Zoll-HR-Spiegeln und 60° Lasereinfallswinkel für geringere Kontamination.
Zielmanipulator mit drei Positionen (3" oder 6 x 2", max. Dicke 6 mm) mit computergesteuerter Auswahl und Rotation mit bis zu 50 U/min.
Handhabung des Substrats:
Substratheizung (max. 6000°C) mit wassergekühlter Beschichtung. Ziel-Substrat-Abstand: 75 mm.
Programmierbare Klappe für Probenwechsel mit motorisierter Z-Achsen-Halterung (2" Hub) und Turbopumpe (70 l/s, 90.000 U/min). Basisdruck: < 5 x 10^-8 Torr.
Zusätzliche Merkmale:
Nano PLD IW Intelligentes Fenstersystem mit Quarzglasscheibe und Strahlteiler für erweiterte Reinheit des optischen Weges.
Optisches Pyrometer (0,78-1,06 μm Spektralbereich) zur Überwachung der Substrattemperatur (500-2000°C).
Massendurchflussmesser, Wasserkühler, Luftkompressor und Rotationssubstratanordnung (bis zu 40 U/min) für eine gleichmäßige Schichtabscheidung.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.

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Einschaltstunden
Zustand hervorragend
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