Beschreibung
Spin-Prozessor EDC-650-15B von 2009
Gute Arbeitskonditionen.
Kommt mit seiner Steuerung und Handbuch.
Sehr wenig benutzt: Zähler: 3454.
Genaues Modell: EDC-650Hz-15NPP/IND
Der Spin-Prozessor EDC-650-15 ist ein kompaktes Modell mit erweiterten Funktionen.
Es kann Wafer bis zu 300 mm Durchmesser und 9" × 9" (229 mm × 229 mm) Substrate verarbeiten, obwohl es eine max. Drehzahl von 12.000 U/min und Vakuumspannfutter, empfohlen wird es bei einer Drehzahl von nur 3000 U/min und Nicht-Vakuumspannfuttern.
Alle Spin-Prozessoren der EDC-650-Serie enthalten einen eingebauten Prozesscontroller, der bei Verwendung in Verbindung mit Software (in einer objektorientierten Sprache geschrieben) eine große Flexibilität bei der Verwendung ermöglicht.
Darüber hinaus ermöglicht es in Verbindung mit der PC-Software Spin 3000 eine beispiellose Flexibilität sowohl bei der Definition des Arbeitsprozesses als auch während des Prozesses selbst.
Der drahtlose Controller ermöglicht es dem Bediener, von jedem Punkt im Labor während des Prozesses in Echtzeit zu interagieren, einschließlich der Möglichkeit, Pausenzeiten an diesem Punkt zu stoppen oder fortzusetzen.
Das System lässt sich auch im Feld schnell und kontinuierlich mit Softwarerevisionen aktualisieren.
für Elektrochemie- und Nanomateriallabors Spin Processor Beschichter Halbleiter / Halbleiter / Wafer
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