Beschreibung
SSEC CLEAN 3300
MODELL: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Herstellungsdatum: 8/30/05
AC Dwg Nr. 330i1712
1) der Wafer wird in das Lösungsmittelgemisch getaucht (sog. Tauchreinigung)
2) Es erfolgt eine Bearbeitung mit Sprühlösungsmitteln (sog. Fan Spray Processing) und eine Stickstofftrocknung.
Die Anlage verfügt über ein sogenanntes Dry-in/Dry-out-System (trockene Wafer rein/ trockene Wafer raus).
Die TSV-Reinigung nach dem DRIE-Ätzen ist für die Zuverlässigkeit von 2,5D- und 3D-IC-Bauelementen unerlässlich. SSECs firmeneigene
Sicker- und Sprühtechnologie von SSEC minimiert die Sprühzeit und den Einsatz von Chemikalien und senkt so die Betriebskosten gegenüber
als herkömmliche Nassbank- oder Einzelsprühverfahren; sie erreicht 100 % Photoresist und Seitenwand
Fluorpolymerentfernung 5x schneller als nur durch Sprühen.
Das Gerät verfügt über eine Software für zeitgleiches Einweichen zur Prozesssteuerung. Jeder Wafer tränkt in einem beheizten, rezirkulierenden
Lösungsmittel ein, bis die Polymerreste eingedrungen sind. Nach der Nassübergabe an die Sprühstation werden die
wird der Wafer mit Hochdruck besprüht, um verbleibende Rückstände schnell zu entfernen. Das Ergebnis ist 100%ig
Entfernung von Photoresist und Polymer. Das Einweichen und Besprühen benötigt 88 % weniger Zeit und 77,5 % weniger Chemie als
reinen Sprühverfahren.
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