SSEC 3302 Resistentfernungs- und Waferreinigungsmaschine

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Hersteller Ssec
Typ M3302
Baujahr
Standort USA US
Kategorie Halbleiter - Waferausrüstung
Produkt ID P240304602
Sprache

Detaillierte Informationen

-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Beschreibung

SSEC CLEAN 3300

MODELL: M3302

208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP

Herstellungsdatum: 8/30/05

AC Dwg Nr. 330i1712



1) der Wafer wird in das Lösungsmittelgemisch getaucht (sog. Tauchreinigung)

2) Es erfolgt eine Bearbeitung mit Sprühlösungsmitteln (sog. Fan Spray Processing) und eine Stickstofftrocknung.

Die Anlage verfügt über ein sogenanntes Dry-in/Dry-out-System (trockene Wafer rein/ trockene Wafer raus).



Die TSV-Reinigung nach dem DRIE-Ätzen ist für die Zuverlässigkeit von 2,5D- und 3D-IC-Bauelementen unerlässlich. SSECs firmeneigene

Sicker- und Sprühtechnologie von SSEC minimiert die Sprühzeit und den Einsatz von Chemikalien und senkt so die Betriebskosten gegenüber

als herkömmliche Nassbank- oder Einzelsprühverfahren; sie erreicht 100 % Photoresist und Seitenwand

Fluorpolymerentfernung 5x schneller als nur durch Sprühen.



Das Gerät verfügt über eine Software für zeitgleiches Einweichen zur Prozesssteuerung. Jeder Wafer tränkt in einem beheizten, rezirkulierenden

Lösungsmittel ein, bis die Polymerreste eingedrungen sind. Nach der Nassübergabe an die Sprühstation werden die

wird der Wafer mit Hochdruck besprüht, um verbleibende Rückstände schnell zu entfernen. Das Ergebnis ist 100%ig

Entfernung von Photoresist und Polymer. Das Einweichen und Besprühen benötigt 88 % weniger Zeit und 77,5 % weniger Chemie als

reinen Sprühverfahren.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2014
Online Angeboten 24
Letzte log in 11. September 2024

Beschreibung

SSEC CLEAN 3300

MODELL: M3302

208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP

Herstellungsdatum: 8/30/05

AC Dwg Nr. 330i1712



1) der Wafer wird in das Lösungsmittelgemisch getaucht (sog. Tauchreinigung)

2) Es erfolgt eine Bearbeitung mit Sprühlösungsmitteln (sog. Fan Spray Processing) und eine Stickstofftrocknung.

Die Anlage verfügt über ein sogenanntes Dry-in/Dry-out-System (trockene Wafer rein/ trockene Wafer raus).



Die TSV-Reinigung nach dem DRIE-Ätzen ist für die Zuverlässigkeit von 2,5D- und 3D-IC-Bauelementen unerlässlich. SSECs firmeneigene

Sicker- und Sprühtechnologie von SSEC minimiert die Sprühzeit und den Einsatz von Chemikalien und senkt so die Betriebskosten gegenüber

als herkömmliche Nassbank- oder Einzelsprühverfahren; sie erreicht 100 % Photoresist und Seitenwand

Fluorpolymerentfernung 5x schneller als nur durch Sprühen.



Das Gerät verfügt über eine Software für zeitgleiches Einweichen zur Prozesssteuerung. Jeder Wafer tränkt in einem beheizten, rezirkulierenden

Lösungsmittel ein, bis die Polymerreste eingedrungen sind. Nach der Nassübergabe an die Sprühstation werden die

wird der Wafer mit Hochdruck besprüht, um verbleibende Rückstände schnell zu entfernen. Das Ergebnis ist 100%ig

Entfernung von Photoresist und Polymer. Das Einweichen und Besprühen benötigt 88 % weniger Zeit und 77,5 % weniger Chemie als

reinen Sprühverfahren.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Detaillierte Informationen

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Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Bezüglich der/die Besitzer /in

Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2014
Online Angeboten 24
Letzte log in 11. September 2024

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