Detaillierte Informationen

Software
-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Beschreibung

Wafer-/Substratgröße: bis zu 6"/150 Durchmesser

X,Y, Theta-Tisch
Ebenheit über 6": <10 µm
Auflösung: 5 µm
Bereich der Bewegung: 155 x 155 mm
Lasthub Y-Achse: 90 mm
Z-Höhenverstellbereich: 10 mm
Z-Kontakt/Trennhub: 3 mm
Theta-Verfahrweg (Standard): 360°
Thetahub, fein (optional): ±10°

Spannfutter
Ebenheit: 3 µm
Vertikale Steifigkeit 6": <15 µm/10 N

ProbeHead Aufspannplatte
Fixierung Typ: Vakuum, magnetisch, HF
Verfahrbereich: 40 mm
Kontakt-/Trennhub: 0,2 mm
Reproduzierbarkeit: 1 µm

Hilfsmittel
Vakuum: -0,8 bar
Druckluftzufuhr: 4 bar

Abmessungen und Gewicht
Breite x Tiefe x Höhe: 490 x 490 x480mm
Gewicht: 60 kg

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2019
Online Angeboten 73
Letzte log in 21. November 2024

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Wafer-/Substratgröße: bis zu 6"/150 Durchmesser

X,Y, Theta-Tisch
Ebenheit über 6": <10 µm
Auflösung: 5 µm
Bereich der Bewegung: 155 x 155 mm
Lasthub Y-Achse: 90 mm
Z-Höhenverstellbereich: 10 mm
Z-Kontakt/Trennhub: 3 mm
Theta-Verfahrweg (Standard): 360°
Thetahub, fein (optional): ±10°

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Ebenheit: 3 µm
Vertikale Steifigkeit 6": <15 µm/10 N

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Fixierung Typ: Vakuum, magnetisch, HF
Verfahrbereich: 40 mm
Kontakt-/Trennhub: 0,2 mm
Reproduzierbarkeit: 1 µm

Hilfsmittel
Vakuum: -0,8 bar
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Abmessungen und Gewicht
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