Detaillierte Informationen

-------------------
Länge x Breite x Höhe 740,0 × 624,0 × 701,0
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Beschreibung

Modell: 600 Halbautomatisch
- Halbautomatische RF-Plasmaanlage
- Kann bis zu 200mm-Wafer bearbeiten
- Wird zum Ablösen von Fotolack und zur Oberflächenreinigung sowie zum Ätzen von Silizium und dessen Verbindungen verwendet
- Kammergröße: 245mm Durchmesser, 380mm Tiefe
- Kammermaterial: Keramik
- ENI RF-Generator: 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gase: 4 Kanäle, gesteuert durch 4 MFCs
- Leybold D65B Vakuumpumpe
- Abmessungen: 740mm x 624mm x 701mm + Anschlüsse
- Elektrisch: 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 Stunden

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2019
Online Angeboten 73
Letzte log in 19. Dezember 2024

Beschreibung

Modell: 600 Halbautomatisch
- Halbautomatische RF-Plasmaanlage
- Kann bis zu 200mm-Wafer bearbeiten
- Wird zum Ablösen von Fotolack und zur Oberflächenreinigung sowie zum Ätzen von Silizium und dessen Verbindungen verwendet
- Kammergröße: 245mm Durchmesser, 380mm Tiefe
- Kammermaterial: Keramik
- ENI RF-Generator: 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gase: 4 Kanäle, gesteuert durch 4 MFCs
- Leybold D65B Vakuumpumpe
- Abmessungen: 740mm x 624mm x 701mm + Anschlüsse
- Elektrisch: 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 Stunden

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Betriebsstunden
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Bezüglich der/die Besitzer /in

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