Beschreibung
Wafer-Inspektions-/Review-Station für nackte und strukturierte Wafer
Inspektion von 300mm-Wafern in FOUP-Ladern oder 200mm-Wafern in offenen Kassetten mit Adaptern
2 FOUP-Lader
Mikroskop Axiotron 300
Equipe-Roboter mit PRE-5120 Prealigner
300mm Wafer Chuck mit 300mm x 300mm xy Tisch
DIC, Hellfeld, Dunkelfeld
Objektive: Epiplan Neofluar 2.5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
Xenon-Lichtquelle mit Glasfaserkabel
Windows NT Betriebssystem mit SmartVIEW ver.4.13 Software für visuelle Inspektion und Fehlerklassifizierung,
Wafermapping, Dateiverwaltung, Bildbearbeitung und -verarbeitung.
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