Περιγραφή
Κατασκευαστής: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 ΣΎΣΤΗΜΑ ΣΠΑΤΟΥΛΑΡΊΣΜΑΤΟΣ
3 ΣΤΟΧΟΙ
ΑΥΤΌΜΑΤΗ/ΧΕΙΡΟΚΊΝΗΤΗ ΒΑΛΒΊΔΑ
ΜΗΧΑΝΙΚΉ ΑΝΤΛΊΑ ΆΜΕΣΗΣ ΚΊΝΗΣΗΣ
ΑΝΤΛΙΑ ΔΙΦΥΣΗΣ
ΜΠΟΡΕΊ ΝΑ ΑΝΑΒΑΘΜΙΣΤΕΊ ΜΕ ΠΕΡΙΣΤΡΕΦΌΜΕΝΟ ΕΞΆΡΤΗΜΑ ΓΙΑ ΤΗ ΣΥΓΚΡΆΤΗΣΗ (4) ΠΛΑΚΙΔΊΩΝ 8"
Το Airco Temescal HRS 2550 είναι ένα σύστημα σπατουλαρίσματος. Διαθέτει 3 στόχους, αυτόματη/χειροκίνητη βαλβίδα, μηχανική αντλία άμεσης κίνησης και αντλία διάχυσης. Διαθέτει επίσης τροφοδοτικό r/f. Μπορεί να αναβαθμιστεί σε ανακατασκευασμένη κεφαλή κρυοαντλίας CTI-10 με συμπιεστή.
Τεχνικά στοιχεία
Διαστάσεις: Μέγεθος: 16 ίντσες ύψος x 25,5 ίντσες
(406 mm x 647,7 mm)
Στήριξη: καρουσέλ κάθετα τοποθετημένοι υποδοχείς υποστρώματος, προαιρετική δυνατότητα flip-flop
Χωρητικότητα: (τουλάχιστον) 64 πλακίδια 2 ιντσών (51 mm)
Θωράκιση: τουλάχιστον 3 αναπηδήσεις
Θερμότητα υποστρώματος: μέγιστο 3 kW
Αριθμός καθόδων: το πολύ τρεις Χειροκίνητη βαλβίδα εισόδου αργού με σφραγισμένο φυσητήρα και δυνατότητα μέτρησης
Θάλαμος κενού (συμπεριλαμβανομένου του περιβλήματος ηλεκτρονικών): 82,5 ίντσες ύψος (με ερμάριο)
(με την επάνω κονσόλα) x 64 ίντσες πλάτος x 40 ίντσες βάθος (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Παροχή ρεύματος (συμπεριλαμβανομένων των κονσολών ελέγχου):
36 ίντσες ύψος x 25,5 ίντσες πλάτος x 25,5 ίντσες βάθος (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Τυπικοί ρυθμοί στατικής εναπόθεσης: 15,000
A/λεπτό αλουμίνιο, 20.000 A/λεπτό χαλκός
Διανομή: � 5% με συγκάλυψη της πηγής
Μέγεθος στόχου: 8,25 ίντσες x 3,56 ίντσες (210 mm x 90 mm)
Τάση λειτουργίας: -400 έως -800V dc δυναμικό καθόδου (μέγιστοι ρυθμοί εναπόθεσης σε
-400 έως -500V dc)
Μέγιστο επίπεδο ισχύος λειτουργίας: 5 KW. 0,2 έως 7Α
Πίεση λειτουργίας: 1 x 10-2 έως 1 x 10-3 torr
Νερό ψύξης: (0,5gpm στους 20�C)ανά πηγή
Έξοδος: 5 kW, ρυθμιζόμενο ρεύμα από 0,2A
έως 7Α- τάση από 50V dc έως 800V dc,
εξαρτώμενη από την πίεση
Κύκλος λειτουργίας: 100%
Μέτρηση: ρεύμα εξόδου, 0 έως 1Α, και 0 έως
10Α, κλίμακα dc- τάση καθόδου-γης,
0 έως 1,5 kV dc- τάση ανόδου-εδάφους,
0 έως 150V dc
Μπλοκαρίσματα: τροφοδοσία ρεύματος, πόρτες θαλάμου, νερό, καπάκι θαλάμου και πίεση θαλάμου
Απαιτούμενη υπηρεσία: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 φάσεις
Τελικό κενό: εύρος 10-8 torr
Αντλία διάχυσης: 5300 λίτρα/δευτερόλεπτο, ύψους 10 ιντσών x διαμέτρου 16 ιντσών
Μηχανική αντλία: 35 cfm (1000 λίτρα/δευτερόλεπτο, διπλής βαθμίδας)
Παγίδα ψύξης: χωρητικότητα 4,5 λίτρων- επιφάνεια 2600 τετραγωνικών ιντσών (1,67 m2)
Βαλβίδα υψηλού κενού: διαμέτρου 16 ιντσών (406 mm), σφραγισμένη με φυσητήρα
Βαλβίδα παράκαμψης υψηλού κενού: 75 mm (3 ιντσών) i.d., μεταβλητής αγωγιμότητας
Βαλβίδα πείνας και βαλβίδα εκχόνδρισης: 51 mm (2 ιντσών) i.d.
Ενεργοποίηση βαλβίδων: ηλεκτροπνευματική (όλες οι βαλβίδες κενού)
Αλληλουχία βαλβίδων: χειροκίνητη και αυτόματη
Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί αυτόματα. Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες. Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Η Exapro συνιστά να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά