Περιγραφή
Αντλία κενού ξηρού τύπου iXH6045H
Επισκόπηση προϊόντος
Η σειρά αντλιών ξηρού κενού iXH έχει σχεδιαστεί ειδικά για απαιτητικές διεργασίες στην κατασκευή ημιαγωγών, επίπεδων οθονών και ηλιακών εφαρμογών. Προσφέρει μειωμένο κόστος ιδιοκτησίας με 10% λιγότερη κατανάλωση ενέργειας σε σύγκριση με τα προηγούμενα μοντέλα. Η αντλία διαθέτει βελτιωμένο χειρισμό σκόνης με την τεχνολογία Gas Buster™, ευρύ φάσμα θερμοκρασιών λειτουργίας για την ελαχιστοποίηση της συσσώρευσης παραπροϊόντων και βελτιωμένη τεχνολογία στεγανοποίησης για την παράταση της διάρκειας ζωής της αντλίας και τη μείωση των κινδύνων διαρροής.
Προδιαγραφές
Μοντέλο: ACHD02123300XS
Τάση: 380-460V
Υψηλή τάση: 6000V
Μονάδα αερίου: ροή 44 sL/min)
Εξάτμιση: εκροή: στάνταρ χωρίς βαλβίδα ελέγχου
Σφραγίδες: Στάνταρ
Κινητήρας αντλίας: kW
Κινητήρας ενίσχυσης: kW
Εφαρμογές
Εφαρμογές υψηλού και χαμηλού κ
Διεργασίες SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN και EPI
CVD, PECVD και MOCVD
Λήψη/απόξεση, χάραξη οξειδίων, χάραξη μετάλλων και πηγή εμφύτευσης
Τεχνικές προδιαγραφές
Διαστάσεις:
Μήκος: 1080 mm
Πλάτος: 517 mm
Ύψος: 966 mm
Απόδοση: 9,9 mm:
5200 m³/h
Τελικό κενό: < 5 x 10-³ mbar
Μέγιστη πίεση εισόδου: 1000 mbar
Ψύξη:
Παροχή νερού: 12 l/min
Πίεση παροχής νερού: 6,9 bar (100 psig)
Βασικά χαρακτηριστικά
Υψηλές ταχύτητες άντλησης υδρογόνου ιδανικές για προηγμένες διεργασίες EPI και ηλιακές διεργασίες
Συμπαγής σχεδιασμός με μικρότερο αποτύπωμα για εύκολη ενσωμάτωση σε εγκαταστάσεις κατασκευής
Συμμόρφωση με τα πρότυπα UL, CE και S2
Αυτή η αντλία είναι βελτιστοποιημένη για απαιτητικά περιβάλλοντα όπου η αυξημένη ικανότητα διεργασιών, η ενεργειακή απόδοση και ο συμπαγής σχεδιασμός είναι ζωτικής σημασίας. Για περισσότερες λεπτομέρειες και οδηγίες λειτουργίας, ανατρέξτε στο πλήρες εγχειρίδιο προϊόντος.
Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί αυτόματα. Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες. Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Η Exapro συνιστά να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά