Περιγραφή
Σύστημα Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
Βαρέλι χαλαζία 12" (διάμετρος) x 20" (D)
βαλβίδα μαλακής άντλησης και εξαέρωσης
σχεδιασμός χαμηλής σωματιδιακής συγκέντρωσης
2ea είσοδοι αερίου ροής μάζας με εξαρτήματα VCR
όλα τα υδραυλικά SS,
πολλαπλών καναλιών/ελέγχονται από υπολογιστή, με δισκέτα αποθήκευσης
παρακολούθηση θερμοκρασίας
Γεννήτρια RF ENI OEM 12B 1250W
Μέγεθος γκοφρέτας: 4", 6", 8" δυνατότητα
Χωρητικότητα: 50 δίσκοι 8", 50-75 δίσκοι 6", 100 δίσκοι 4".
Θάλαμος: Χαλαζίας, συμβατός με φθοριούχα χημικά. Διάμετρος 12" x βάθος 20". Εξωτερικά ηλεκτρόδια RF.
Γεννήτρια RF: MHz με αερόψυξη και αυτόματο δίκτυο προσαρμογής σύνθετης αντίστασης. Προαιρετικά υδρόψυκτη.
Πίεση διεργασίας: Πίεση: Περίπου 120 - 2000 mtorr.
Υδραυλικά από ανοξείδωτο χάλυβα.
Παρακολούθηση θερμοκρασίας: Θερμοστοιχείο με επικάλυψη χαλαζία που βρίσκεται στο θάλαμο διεργασίας.
Οθόνη: Έγχρωμη οθόνη αφής 12,1" για τον έλεγχο και την παρακολούθηση των παραμέτρων της διαδικασίας, των αυτόματων συνταγών ή των χειροκίνητων επεξεργασιών πλάσματος.
Τέσσερα καθορισμένα από τον χρήστη αέρια, με MFC από ανοξείδωτο χάλυβα 500 sccm είναι στάνταρ, ενώ διατίθεται προαιρετικά 3ο ή/και 4ο κανάλι αερίου.
Απαιτήσεις ισχύος: 208 - 240 βολτ, 3 φάσεις, 50/60 Hz 5 καλωδίων "wye".
Ένα περίβλημα επιτοίχιας τοποθέτησης NEMA-12 με λαβή ασφάλισης περιέχει τον έλεγχο ισχύος AC για τον εσχαριστή, το τροφοδοτικό και την αντλία, επιτρέποντας την πτώση από μία μόνο πηγή για το πλήρες σύστημα.
Πιστοποίηση CE.
Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί αυτόματα. Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες. Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Η Exapro συνιστά να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά