Μηχανή ημιαγωγών PVD Products, USA NANO PLD 1000 Επαληθευμένος πωλητής

Τιμή κατόπιν αιτήματος

Κάνω αντιπροσφορά

Προδιαγραφές

-------------------
Ώρες εργασίας
Ώρες υπό ρεύμα
Κατάσταση έξοχος
Σύμφωνα με τους τοπικούς κανόνες ---------
Κατάσταση σε παραγωγή

Περιγραφή

Το σύστημα Nano PLD-1000 είναι ένα πλήρως ολοκληρωμένο όργανο εναπόθεσης με λέιζερ για πολυστρωματικά φιλμ σε υποστρώματα διαμέτρου έως 2 ίντσες. Χρησιμοποιεί τρεις πηγές ενέργειας: το συνεκτικό λέιζερ Λάμδα PRO 110 της PhysikCOMPex, μια πηγή σκέδασης μαγνητρονίου και την πηγή ιόντων 3 cm της Veeco.

Βασικά στοιχεία και προδιαγραφές: - Το σύστημα είναι ένα από τα σημαντικότερα συστήματα που διαθέτει:
Σύστημα λέιζερ: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer laser (248-nm, KrF) με τεχνολογία Ceramic Tube, ταχύτητα επανάληψης έως 100Hz και 20 MWat/παλμό.
Πηγή μαγνητρονίων: PVD Products Titan magnetron με διάμετρο στόχου 5 cm, που λειτουργεί σε λειτουργία DC (400 W max) ή RF (300 W max) σε πιέσεις από 0,5 mTorr έως 1 Torr.
Πηγή ιόντων: ενέργειας δέσμης 50-1200 eV και μέγιστου ρεύματος 100 mA.
Σύστημα κενού:
Θάλαμος κενού με φλάντζες για εξαρτήματα (π.χ. φασματοσκοπία, κανόνι ιόντων). Περιλαμβάνει υδρόψυκτο καθετήρα κενού Pfeiffer, στροβιλοαντλία (250 l/s, 60.000 RPM) και περιστροφική αντλία.
Μετρητές κενού: Torr) και Hornet Bayard-Alpert (έως 10^-9 Torr).
Ψηφιακός μετρητής ροής MKS (50 sccm) βαθμονομημένος για οξυγόνο με χειροκίνητη διακοπή.
Οπτικά χαρακτηριστικά και χαρακτηριστικά χειρισμού:
Σταθερή οπτική διαδρομή με μήκος κύματος 248 nm, κάτοπτρα HR 2 ιντσών και γωνία πρόσπτωσης λέιζερ 60° για μειωμένη μόλυνση.
Χειριστής στόχου τριών θέσεων (3" ή 6 x 2", μέγιστο πάχος 6 mm) με ηλεκτρονική επιλογή και περιστροφή έως 50 στροφές ανά λεπτό.
Χειρισμός υποστρώματος:
Θερμαντήρας υποστρώματος (6000°C max) με υδρόψυκτη επίστρωση. Απόσταση στόχου-υποστρώματος: 75 mm.
Προγραμματιζόμενη καταπακτή για αλλαγές δειγμάτων με μηχανοκίνητο βραχίονα άξονα Z (διαδρομή 2") και αντλία turbo (70 l/s, 90.000 RPM). Πίεση βάσης: < 5 x 10^-8 Torr.
Πρόσθετα χαρακτηριστικά:
Σύστημα Nano PLD IW Intelligent Window με γυάλινο δίσκο χαλαζία και διαχωριστή δέσμης για εκτεταμένη καθαρότητα της οπτικής διαδρομής.
Οπτικό πυρόμετρο (φασματική περιοχή 0,78-1,06 μm) για την παρακολούθηση της θερμοκρασίας του υποστρώματος (500-2000°C).
Μετρητές ροής μάζας, ψύκτης νερού, αεροσυμπιεστής και περιστροφική διάταξη υποστρώματος (έως 40 RPM) για ομοιόμορφη εναπόθεση υμενίων.

Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί αυτόματα. Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες. Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Η Exapro συνιστά να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά


pvd-products-usa-nano-pld-1000-p241126370_3.pdf Κατεβάστε
Τύπος πελάτη Χρήστης - ΜΜΕ
Ενεργός από τότε 2024
Προσφορές online 2
Τελευταία δραστηριότητα 30/12/2024

Περιγραφή

Το σύστημα Nano PLD-1000 είναι ένα πλήρως ολοκληρωμένο όργανο εναπόθεσης με λέιζερ για πολυστρωματικά φιλμ σε υποστρώματα διαμέτρου έως 2 ίντσες. Χρησιμοποιεί τρεις πηγές ενέργειας: το συνεκτικό λέιζερ Λάμδα PRO 110 της PhysikCOMPex, μια πηγή σκέδασης μαγνητρονίου και την πηγή ιόντων 3 cm της Veeco.

Βασικά στοιχεία και προδιαγραφές: - Το σύστημα είναι ένα από τα σημαντικότερα συστήματα που διαθέτει:
Σύστημα λέιζερ: PhysikCOMPex PRO 110 Lambda excimer laser (248-nm, KrF) με τεχνολογία Ceramic Tube, ταχύτητα επανάληψης έως 100Hz και 20 MWat/παλμό.
Πηγή μαγνητρονίων: PVD Products Titan magnetron με διάμετρο στόχου 5 cm, που λειτουργεί σε λειτουργία DC (400 W max) ή RF (300 W max) σε πιέσεις από 0,5 mTorr έως 1 Torr.
Πηγή ιόντων: ενέργειας δέσμης 50-1200 eV και μέγιστου ρεύματος 100 mA.
Σύστημα κενού:
Θάλαμος κενού με φλάντζες για εξαρτήματα (π.χ. φασματοσκοπία, κανόνι ιόντων). Περιλαμβάνει υδρόψυκτο καθετήρα κενού Pfeiffer, στροβιλοαντλία (250 l/s, 60.000 RPM) και περιστροφική αντλία.
Μετρητές κενού: Torr) και Hornet Bayard-Alpert (έως 10^-9 Torr).
Ψηφιακός μετρητής ροής MKS (50 sccm) βαθμονομημένος για οξυγόνο με χειροκίνητη διακοπή.
Οπτικά χαρακτηριστικά και χαρακτηριστικά χειρισμού:
Σταθερή οπτική διαδρομή με μήκος κύματος 248 nm, κάτοπτρα HR 2 ιντσών και γωνία πρόσπτωσης λέιζερ 60° για μειωμένη μόλυνση.
Χειριστής στόχου τριών θέσεων (3" ή 6 x 2", μέγιστο πάχος 6 mm) με ηλεκτρονική επιλογή και περιστροφή έως 50 στροφές ανά λεπτό.
Χειρισμός υποστρώματος:
Θερμαντήρας υποστρώματος (6000°C max) με υδρόψυκτη επίστρωση. Απόσταση στόχου-υποστρώματος: 75 mm.
Προγραμματιζόμενη καταπακτή για αλλαγές δειγμάτων με μηχανοκίνητο βραχίονα άξονα Z (διαδρομή 2") και αντλία turbo (70 l/s, 90.000 RPM). Πίεση βάσης: < 5 x 10^-8 Torr.
Πρόσθετα χαρακτηριστικά:
Σύστημα Nano PLD IW Intelligent Window με γυάλινο δίσκο χαλαζία και διαχωριστή δέσμης για εκτεταμένη καθαρότητα της οπτικής διαδρομής.
Οπτικό πυρόμετρο (φασματική περιοχή 0,78-1,06 μm) για την παρακολούθηση της θερμοκρασίας του υποστρώματος (500-2000°C).
Μετρητές ροής μάζας, ψύκτης νερού, αεροσυμπιεστής και περιστροφική διάταξη υποστρώματος (έως 40 RPM) για ομοιόμορφη εναπόθεση υμενίων.

Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί αυτόματα. Επικοινωνήστε μαζί μας για περισσότερες πληροφορίες. Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Η Exapro συνιστά να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά


Προδιαγραφές

-------------------
Ώρες εργασίας
Ώρες υπό ρεύμα
Κατάσταση έξοχος
Σύμφωνα με τους τοπικούς κανόνες ---------
Κατάσταση σε παραγωγή

Σχετικά με αυτόν τον πωλητή

Τύπος πελάτη Χρήστης - ΜΜΕ
Ενεργός από τότε 2024
Προσφορές online 2
Τελευταία δραστηριότητα 30/12/2024

Εδώ είναι μια επιλογή από παρόμοια μηχανήματα

Μηχανή ημιαγωγών PVD Products, USA NANO PLD 1000