Información avanzada

Funcionalidad otro
-------------------
Horas en marcha
Horas bajo tensión
Estado general bueno
Con Normativas CE ---------
Condición

descripción

Fabricante: Airco
SISTEMA DE SPUTTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARJETAS
VALVULADO AUTO/MANUAL
BOMBA MECÁNICA DE ACCIONAMIENTO DIRECTO
BOMBA DE DIFUSIÓN
PUEDE ACTUALIZARSE CON UN ACCESORIO GIRATORIO PARA SOSTENER (4) OBLEAS DE 8".

El Airco Temescal HRS 2550 es un sistema de sputtering. Dispone de 3 objetivos, valvulado automático/manual, bomba mecánica de accionamiento directo y bomba de difusión. También tiene una fuente de alimentación r/f. Puede actualizarse a un cabezal de criobomba CTI-10 reconstruido con compresor.
Datos técnicos
Dimensiones: 16 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas
de diámetro (406 mm x 647,7 mm)
Fijación: soportes de sustratos montados verticalmente en carrusel, capacidad opcional de flip-flop
Capacidad: (mínimo) 64 obleas de 51 mm (2 pulgadas)
Blindaje: mínimo de 3 rebotes
Calor del sustrato: máximo 3 kW
Número de cátodos: tres como máximo Válvula manual de fuelle de entrada de argón con capacidad de dosificación

Cubículo de vacío (incluida la caja electrónica): 82,5 pulgadas de alto (con armario
consola superior) x 64 pulgadas de ancho x 40 pulgadas de profundidad (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Fuente de alimentación (incluidas las consolas de control):
36 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas de ancho x 25,5 pulgadas de profundidad (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Tasas de deposición estática típicas 15,000
A/minuto de aluminio, 20.000 A/minuto de cobre
Distribución: � 5% con enmascaramiento de la fuente
Tamaño del blanco: 210 mm x 90 mm (8,25 pulgadas x 3,56 pulgadas)
Tensión de funcionamiento: potencial catódico de -400 a -800 V cc (tasas de deposición máximas a
-400 a -500V cc)
Potencia máxima de funcionamiento: 5 KW. 0,2 a 7A
Presión de funcionamiento: 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Agua de refrigeración: (0,5gpm a 20�C)por fuente

Potencia: 5 kW, corriente ajustable de 0,2A
a 7A; tensión de 50V cc a 800V cc;
dependiente de la presión
Ciclo de trabajo: 100%.
Medición: corriente de salida, de 0 a 1A, y de 0 a
10A, escala cc; tensión cátodo-tierra,
0 a 1,5 kV cc; tensión ánodo-tierra,
0 a 150V cc
Enclavamientos: alimentación, puertas de celda, agua, tapa de cámara y presión de cámara
Servicio requerido: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, trifásico

Vacío final: 10-8 torr
Bomba de difusión: 5300 litros/segundo, 10 pulgadas de alto x 16 pulgadas de diámetro interior
Bomba mecánica: 35 cfm (1000 litros/segundo, doble etapa
Trampa de frío: 4,5 litros de capacidad; 2600 pulgadas cuadradas (1,67 m2) de superficie
Válvula de alto vacío: 16 pulgadas (406 mm) de diámetro interior, sellada por fuelle
Válvula de derivación de alto vacío: 75 mm (3 pulgadas) de diámetro interior, conductancia variable
Válvula de purga y válvula de desbaste: 51 mm (2 pulgadas) de diámetro interior
Accionamiento de las válvulas: electroneumático (todas las válvulas de vacío)
Secuencia de válvulas: manual y automática

Por favor, tenga en cuenta que la descripción puede ser automatizada. Contactar con nosotros para más informaciones. La información de este anuncio clasificado sólo es indicativa. Recomendamos a los compradores que la comprueben con el vendedor antes de la compra.


Tipo de cliente Revendedor
Activo desde 2014
Ofertas en línea 46
Última actividad 19 de diciembre de 2024

Descripción

Fabricante: Airco
SISTEMA DE SPUTTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 TARJETAS
VALVULADO AUTO/MANUAL
BOMBA MECÁNICA DE ACCIONAMIENTO DIRECTO
BOMBA DE DIFUSIÓN
PUEDE ACTUALIZARSE CON UN ACCESORIO GIRATORIO PARA SOSTENER (4) OBLEAS DE 8".

El Airco Temescal HRS 2550 es un sistema de sputtering. Dispone de 3 objetivos, valvulado automático/manual, bomba mecánica de accionamiento directo y bomba de difusión. También tiene una fuente de alimentación r/f. Puede actualizarse a un cabezal de criobomba CTI-10 reconstruido con compresor.
Datos técnicos
Dimensiones: 16 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas
de diámetro (406 mm x 647,7 mm)
Fijación: soportes de sustratos montados verticalmente en carrusel, capacidad opcional de flip-flop
Capacidad: (mínimo) 64 obleas de 51 mm (2 pulgadas)
Blindaje: mínimo de 3 rebotes
Calor del sustrato: máximo 3 kW
Número de cátodos: tres como máximo Válvula manual de fuelle de entrada de argón con capacidad de dosificación

Cubículo de vacío (incluida la caja electrónica): 82,5 pulgadas de alto (con armario
consola superior) x 64 pulgadas de ancho x 40 pulgadas de profundidad (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Fuente de alimentación (incluidas las consolas de control):
36 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas de ancho x 25,5 pulgadas de profundidad (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Tasas de deposición estática típicas 15,000
A/minuto de aluminio, 20.000 A/minuto de cobre
Distribución: � 5% con enmascaramiento de la fuente
Tamaño del blanco: 210 mm x 90 mm (8,25 pulgadas x 3,56 pulgadas)
Tensión de funcionamiento: potencial catódico de -400 a -800 V cc (tasas de deposición máximas a
-400 a -500V cc)
Potencia máxima de funcionamiento: 5 KW. 0,2 a 7A
Presión de funcionamiento: 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Agua de refrigeración: (0,5gpm a 20�C)por fuente

Potencia: 5 kW, corriente ajustable de 0,2A
a 7A; tensión de 50V cc a 800V cc;
dependiente de la presión
Ciclo de trabajo: 100%.
Medición: corriente de salida, de 0 a 1A, y de 0 a
10A, escala cc; tensión cátodo-tierra,
0 a 1,5 kV cc; tensión ánodo-tierra,
0 a 150V cc
Enclavamientos: alimentación, puertas de celda, agua, tapa de cámara y presión de cámara
Servicio requerido: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, trifásico

Vacío final: 10-8 torr
Bomba de difusión: 5300 litros/segundo, 10 pulgadas de alto x 16 pulgadas de diámetro interior
Bomba mecánica: 35 cfm (1000 litros/segundo, doble etapa
Trampa de frío: 4,5 litros de capacidad; 2600 pulgadas cuadradas (1,67 m2) de superficie
Válvula de alto vacío: 16 pulgadas (406 mm) de diámetro interior, sellada por fuelle
Válvula de derivación de alto vacío: 75 mm (3 pulgadas) de diámetro interior, conductancia variable
Válvula de purga y válvula de desbaste: 51 mm (2 pulgadas) de diámetro interior
Accionamiento de las válvulas: electroneumático (todas las válvulas de vacío)
Secuencia de válvulas: manual y automática

Por favor, tenga en cuenta que la descripción puede ser automatizada. Contactar con nosotros para más informaciones. La información de este anuncio clasificado sólo es indicativa. Recomendamos a los compradores que la comprueben con el vendedor antes de la compra.


Información avanzada

Funcionalidad otro
-------------------
Horas en marcha
Horas bajo tensión
Estado general bueno
Con Normativas CE ---------
Condición

Información acerca del vendedor

Tipo de cliente Revendedor
Activo desde 2014
Ofertas en línea 46
Última actividad 19 de diciembre de 2024

Aquí es una selección de máquinas similares

Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550