descripción
RTP ANNEALSYS AS-Microhorno de 2017 + bomba + ordenador
Perfecta condicion. Fecha de 2017.
Entregado con:
- Bomba de vacío y bomba de evacuación Agilent IDP3A01
- ordenador de control, software y código de usuario.
- manual
El AS-Micro es un procesador térmico de sobremesa compacto de tres pulgadas con capacidad de vacío dedicado a aplicaciones de investigación. Puede procesar sustratos desde unos pocos milímetros cuadrados hasta 3 pulgadas de diámetro o cuadrados. Los susceptores opcionales están disponibles para contener muestras pequeñas y procesar sustratos con baja absorción de infrarrojos.
La cámara de procesamiento de tubos de cuarzo con bridas de acero inoxidable y un horno tubular con lámparas halógenas infrarrojas permite procesar hasta 1250 °C con velocidades de rampa muy rápidas (> 250 °C/s). El controlador de temperatura de última generación garantiza un control preciso de la temperatura.
La puerta de movimiento horizontal con bandeja de cuarzo proporciona fácil acceso para la carga y descarga de obleas y la instalación de termopares.
Características
Furnace ofrece la velocidad de rampa más alta hasta 250 °C/s para obleas de 2".
Rango de temperatura: TA a 1250°C
Velocidad de rampa de hasta 250 °C/s en sustrato de silicona de 2 pulgadas de diámetro, 200 °C/s en sustrato de 3 pulgadas.
Capacidad de mezcla de gases con controladores de flujo másico
Rango de vacío: Atm a 10-2 Torr (10-6 Torr con bomba turbo opcional)
Control de temperatura de termopar con controlador de temperatura PID digital rápido
Control total de la PC con software compatible con Windows
semiconductor para electroquímica y nanomateriales / semiconductor / para laboratorio de obleas
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