descripción
BIOSIMS DYNAXI
Análisis automático de superficies BIOSIMS
Espectrometría de masas de iones secundarios
del análisis HIDEN analítico Auto SIMS
Sistema completo que incluye:
SISTEMA DE PISTOLA DE IONES IG20: una pistola de iones de GAS de 5 keV
Espectrómetro de masas de iones secundarios / MAXIM 600P – Detector SIMS/SNMS (sistema para aplicaciones SIMS y SNMS estáticas y dinámicas)/ HAL 301/S3 (HAL 3F3S)
con Hiden SIMS Software vendido con todos los avisos , software , certificados , accesorios y su caja de madera para transporte
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Hiden AutoSIMS es una herramienta SIMS autónoma y automatizada para el análisis de superficie repetitivo y de rutina, ideal para la medición de películas delgadas, contaminación y dopaje desde la monocapa superior hasta muchas micras en material conductor y aislante.
l Hiden AutoSIMS es una herramienta SIMS autónoma y automatizada para el análisis de superficie repetitivo y de rutina, ideal para la medición de películas delgadas, contaminación y dopaje desde la monocapa superior hasta muchas micras en material conductor y aislante.
Las muestras se cargan a través de un portamuestras de casete modular y se colocan utilizando la plataforma de alta precisión controlada por computadora. Las recetas de análisis y pistola de iones almacenadas ejecutarán la herramienta en modo completamente automático, informando los resultados en una hoja de cálculo o en formatos personalizados. La pistola de iones de oxígeno de larga duración proporciona un haz estable durante todo el día y la noche de trabajo, proporcionando espectros de superficie y perfiles de profundidad en 3D. La posición de análisis y la receta también se pueden definir usando una hoja de cálculo simple, lo que permite que el usuario no experto complete una matriz experimental compleja con facilidad.
Aunque la herramienta está diseñada para ser utilizada por técnicos no especialistas, la gama completa de parámetros SIMS está disponible para los usuarios más avanzados y AutoSIMS puede utilizarse como una formidable herramienta de investigación por derecho propio, ya que ofrece una resolución de profundidad y un costo de propiedad inigualables. este precio.
Aplicaciones
Peliculas delgadas
Modificacion superficial
Recubrimientos
Monitoreo de productos
Análisis repetitivo
Grandes áreas
Múltiples regiones
ECV/MOCVD/ALD
Análisis SIMS totalmente automatizado y desatendido
Etapa de muestra X-Y grande
Pistola de iones de oxígeno para análisis sensibles
Portamuestras estilo casete personalizable
Los parámetros se pueden especificar a través de una hoja de cálculo
Caracterización 3D
Resolución de profundidad nanométrica
Servicio modular para un alto tiempo de actividad
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