descripción
Controlado por PLC, ofrece una lectura en tiempo real en inglés de los parámetros de funcionamiento del sistema, así como medidas correctoras en caso de fallo.
Plasma activo para la limpieza rutinaria de superficies de muestras
Plasma RIE para la limpieza agresiva de muestras no sensibles a ESD
Plasma libre de electrones para la limpieza de componentes electrónicos sensibles.
El limpiador de plasma Glen R3A puede ser operado en una secuencia de plasma simple o doble.
Fuente de energía de plasma Advanced Energy PE-1000 AC; 500w@ 40khz
Electrodos: (2) juegos de electrodos de 14 x 14 pulgadas; capacidad de hasta 8 bandejas de muestras
3 modos de plasma:
PLASMA ACTIVO para la limpieza rutinaria de las superficies de las muestras
RIE PLASMA para limpieza agresiva de muestras no sensibles a ESD
PLASMA LIBRE DE ELECTRICIDAD PARA LA LIMPIEZA DE COMPONENTES ELECTRÓNICOS SENSIBLES
Entradas de gas: entradas de gas dobles con válvulas de aguja, controladas por PLC
Interfaz de ordenador: Interfaz RS 232
Requisitos de alimentación: 110Volt
Corriente nominal a plena carga: 13 Amp
Bomba de vacío no incluida
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