descripción
Detección y clasificación automática de defectos
Inspección automatizada de matrices
Metrología dimensional de precisión
Metrología de dimensión crítica (CD) y superposición
Funcionamiento automático y manual
Detección de defectos en superficies y bordes
Detección de defectos de textura (por ejemplo, manchas, etc.)
Detección de objetos faltantes o deformados
Amplia capacidad de revisión de defectos
Mapas gráficos y archivo de imágenes
Importación de archivos CAD
Los sistemas de detección de defectos y metrología de la serie NGS están diseñados para aplicaciones en las que se requiere la detección óptica automatizada de defectos y mediciones dimensionales de precisión en obleas y otras piezas. Son muy adecuados para su uso dual como herramientas de producción o como sistemas versátiles de desarrollo de procesos. Estos sistemas ofrecen una selección de componentes de microscopio de alta gama (Olympus/Nikon/Leica), iluminación BF/ DF/ DIC y puesta en escena de motor lineal con escalas de 0,02 micras. Hay varias configuraciones disponibles en función de sus necesidades. Entre ellas se incluyen: una plataforma de 200 mm, una plataforma de 300 mm y una plataforma robotizada para la manipulación automatizada de obleas y piezas.
Sistema avanzado de metrología dimensional y detección de defectos a nivel de oblea
platina motorizada con recorrido XY de 8 "x8
enfoque motorizado
inspección de campo claro y campo oscuro
5-100 defectos/mediciones por segundo típicas
velocidad de puesta en escena de 200 mm/s
coaxial controlada por software y retroiluminación (luz transmitida) con fuentes de alimentación duales de fibra óptica de 150 W
capacidad máxima de carga de la platina: 50 libras
base de granito y columna Z
Etapas lineales de bucle cerrado y eje Z con retroalimentación de posición y sistemas de encóder inteligente Micro-e Mercury 3500 que proporcionan una resolución superior a 1um.
Software: RMS Vision Systems con gráficos en color, archivo de imágenes y revisión de defectos fuera de línea
Microscopio Nikon con rotación motorizada de objetivos, cabezal de visión trinocular ultrawide inclinable con oculares 10x
CCTV Hitachi, Windows XP
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