descripción
La RA 120M permite trazar obleas de hasta 4 pulgadas (102 mm) de diámetro y sustratos de hasta 4 pulgadas (102 mm) cuadradas.
Los dos ejes de trazado independientes se pueden programar por separado para ofrecer la máxima versatilidad.
Los parámetros pueden introducirse en micras o mils. (El modo en pulgadas o métrico se selecciona antes del encendido mediante la colocación de un puente de modo interno).
Los incrementos de entrada de datos son de 1 micra en el modo métrico y de 0,1 mil en pulgadas.
La RA 120M ofrece tres modos de trazado distintos y dos ejes de trazado independientes para que pueda optimizar la configuración específica que mejor se adapte a sus necesidades. La elección depende del compuesto que se esté trazando y del tipo de dispositivo concreto que se fabrique en la oblea o el sustrato.
Si se selecciona el programa de trazado continuo, la trazadora producirá un trazado ininterrumpido en toda la longitud del material, a la profundidad programada durante la configuración. El modo de trazado de bordes permite al RA 120M trazar una pequeña distancia desde el borde del material.
El operador puede seleccionar la longitud del trazo en incrementos de 1 micra entre 20 y 10.000 micras, y el inicio del trazo es siempre relativo al borde del material. Cuando se termina un trazado de borde, la mesa se indexa automáticamente y el siguiente trazado comienza inmediatamente. Por lo tanto, este modo de trazado es muy rápido, ya que la mesa sólo se desplaza una pequeña distancia en la dirección de trazado.
El rayado de salto es muy útil en situaciones en las que una intersección de rayados interferiría con el funcionamiento correcto del dispositivo. En el modo de salto de trazado, la herramienta se coloca en la posición de trazado mientras la mesa se desplaza una distancia de longitud de trazado específica; a continuación, la herramienta se levanta y la mesa se desplaza una distancia determinada antes de que comience el siguiente trazado. El usuario puede seleccionar los parámetros y programar trazados de salto de entre 20 y 10.000 micras.
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