descripción
SSEC CLEAN 3300
MODELO: M3302
208 VAC, 3PH, 60Hz, 30 AMP
Fecha de Mfg. 8/30/05
AC Dwg No. 330i1712
1) la oblea se sumerge en la mezcla de disolventes (la denominada limpieza por inmersión)
2) se realiza el procesado por pulverización de disolventes (el denominado procesado por pulverización en abanico) y la fase de secado con nitrógeno.
La unidad dispone del denominado sistema dry-in/dry-out (entrada de obleas secas/salida de obleas secas).
La limpieza TSV posterior al grabado DRIE es esencial para la fiabilidad de los dispositivos IC 2,5D y 3D. El sistema patentado de SSEC
de SSEC minimiza el tiempo de pulverización y el uso de productos químicos, con un coste de propiedad inferior al de la tecnología de pulverización.
que los métodos convencionales de banco húmedo o de pulverización única.
fluoropolímero 5 veces más rápido que con la pulverización.
La herramienta cuenta con un software de remojo en el mismo tiempo para el control del proceso. Cada oblea se sumerge en un sistema de recirculación caliente.
el tiempo suficiente para penetrar en el residuo de polímero. Tras la transferencia en húmedo a la estación de
La oblea se somete a una pulverización a alta presión para eliminar rápidamente los residuos restantes. El resultado es un 100% de
de fotoresina y polímero. El proceso de remojo y pulverización requiere un 88% menos de tiempo y un 77,5% menos de productos químicos que el proceso de remojo y pulverización.
que los procesos de pulverización.
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