descripción
ALINEADOR DE MÁSCARAS SUSS MA6/BA6
Completamente reconstruido desde cero Septiembre 2023
- Modelo MA6 / BA6
- Fabricante: Suss MicroTec Suss MicroTec
- Tamaño de la oblea: Actualmente configurado para obleas de 100 mm de diámetro.
-Incluye mandril para obleas de 100mm de lado posterior y soporte para máscara de proximidad
- Alineación superior (TSA)
- Alineación trasera (BSA)
- Microscopio Suss DVM6
- Objetivos:
- UV400 splitfield Optics (para exposición a 365nm y 405nm)
- Fuente de alimentación CIC 500
- Capaz de contacto duro, blando y al vacío con el utillaje adecuado.
- Portalámparas de 350 W
- Mesa de aislamiento de vibraciones (para Suss MA6)
- Alimentación del sistema: 230V, 50/60 Hz
- Manual de instrucciones del alineador de máscaras Suss MA6
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