descripción
Tamaño de oblea/sustrato: hasta 6"/150 de diámetro
Etapa X,Y, Theta
Planaridad por encima de 6 <10 µm
Resolución 5 µm
Rango de movimiento 155 x 155 mm
Carrera de carga eje Y: 90 mm
Rango de ajuste de la altura Z 10 mm
Carrera de contacto/separación Z 3 mm
Recorrido Theta (estándar) 360°
Recorrido theta, fino (opcional) ±10°
Mandril
Planitud: 3 µm
Rigidez vertical 6 <15 µm/10 N
Cabezal de la platina
Tipo de fijación: Vacío, magnética, HF
Rango de recorrido: 40 mm
Carrera de contacto/separación 0,2 mm
Repetibilidad: 1 µm
Utilidades
Vacío: -0,8 bar
Aire comprimido 4 bar
Dimensiones y peso
Anchura x Profundidad x Altura: 490 x 490 x480mm
Peso: 60 kg
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