descripción
Mandril de vacío de 6
Par de microposicionadores PH500 con base de vacío
Mesa de aislamiento de vibraciones Kinetic opcional añadir $1600.
Cámara en color Infinity 2-3 de 3,3mp opcional con monitor, PC y software
Estereozoom Mitutoyo FS60 con objetivos APO 10x/20x
Iluminador de fibra óptica MOTIC
Colector de vacío
La SUSS PM5 es una estación de sondeo para mediciones eléctricas (CC y AF) en obleas, chips y sustratos de hasta 150 mm.
Dispone de dos SUSS ProbeHeads colocados en la platina estable, con espacio para sondas adicionales en caso necesario.
La altura de la platina puede ajustarse hasta 40 mm, lo que permite una configuración rápida y sencilla del sistema.
La separación de contacto adicional de 200 μm garantiza un ajuste fino preciso de la platina de la sonda.
Los 2 ProbeHeads (movimientos X, Y, Z) están conectados a la platina por vacío.
Un puente metálico, que abarca la anchura del sistema de sonda y está fijado a la base, soporta el microscopio.
El microscopio está equipado con objetivos ExtraLongWorkingDistance de 10x, 20x, 50x y un ocular de 10x.
La platina se bloquea en su lugar y proporciona un ajuste fino adicional en la dirección Z.
La platina extraíble permite cargar y descargar el dispositivo de prueba de forma rápida y ergonómica.
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