descripción
Controlador de mandril térmico y sistema de mandril térmico
El Sistema TP03500 consta de un controlador de bajo ruido; un conjunto de mandril de vacío con temperatura controlada y su elección de opciones de enfriamiento. Disponible en diámetros de 200 mm (8 pulgadas) o 300 mm (12 pulgadas), el ThermoChuck se adapta a una variedad de tamaños de oblea. Todos los ThermoChucks tienen la capacidad de cerrar los anillos de vacío externos para “sujetar” mejor las obleas más pequeñas. La superficie del mandril está aislada eléctricamente y chapada (oro, níquel, anodizado u otro) para su aplicación.
Para la caracterización de dispositivos y mediciones analíticas en obleas e híbridos cuando el objetivo es mantener el contacto de la sonda durante las variaciones de temperatura, Temptronic ofrece el ThermoChuck de altura constante. Diseñado utilizando la tecnología patentada Temptronic, el ThermoChuck de altura constante mantiene un crecimiento tan bajo como 50 micrones y una planitud de hasta 50 micrones en todo el rango de temperatura.
Características
- El diseño patentado ThermoChuck proporciona estabilidad y precisión térmica y mecánica excepcionales
- Uniformidad de temperatura superior:
- Planitud de la superficie
- Paralelismo superficie-base: <20 micrones @+200°C
- Aislamiento de superficie: > 109 ohmios estándar; >1014 ohmios disponibles
- El sistema de control de CC de bajo ruido mantiene el ruido eléctrico al mínimo
- Diseño de sistema modular para actualizaciones convenientes y rentables del sistema según el diámetro de la oblea
y los requisitos de temperatura cambian
- Aprobado por CE, listado ETL para EE. UU. y Canadá y cumple con los estándares SEMI S2-93A
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