descripción
Estación de inspección/revisión de obleas para obleas desnudas y con patrón
Inspección de obleas de 300 mm en cargadores FOUP u obleas de 200 mm en casetes abiertos con adaptadores
2 cargadores FOUP
Microscopio Axiotron 300
Robot Equipe con prealineador PRE-5120
Pinza para obleas de 300 mm con platina xy de 300 mm x 300 mm
DIC, campo claro, campo oscuro
Objetivos: Epiplan Neofluar 2.5 HD, Epiplan Neofluar 10,20,50 HD DIC, Epiplan Apochromat 100 HD DIC
fuente de luz de xenón con cable de fibra
Sistema operativo Windows NT con software SmartVIEW ver.4.13 para inspección visual y clasificación de defectos,
mapeado de obleas, gestión de archivos, manipulación y procesamiento de imágenes.
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