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Airco Temescal HRS 2550 P240311905
Airco Temescal HRS 2550 P240311905

Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550 Vendeur vérifié

Prix sur demande

Faire une offre
Fabricant Airco
Modèle Temescal HRS 2550
Année
Localisation États-Unis US
Catégorie Autres équipements de fabrication et assemblage de circuits imprimés
Numéro de produit P240311905
Langue
bg Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550
cs Rozprašovací systém Airco Temescal Hrs 2550
da Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
de Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System
el Airco Temescal Hrs 2550 Σύστημα σπατουλαρίσματος
en Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering system
es Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550
fr Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550
hr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sustav prskanja
hu Airco Temescal Hrs 2550 porlasztó rendszer
it Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550
lt "Airco Temescal Hrs 2550" dulkinimo sistema
nl Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem
pl System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550
pt Sistema de pulverização catódica Airco Temescal Hrs 2550
ro Sistem Sputtering Airco Temescal Hrs 2550
ru Система напыления Airco Temescal Hrs 2550
sr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sistem za prskanje
sv Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
tr Airco Temescal Hrs 2550 Püskürtme sistemi

Spécifications

Fonctionnalité autre
-------------------
Heures de travail
Heures sous tension
État bon
Aux normes locales ---------
Statut

description

Fabricant : Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SYSTÈME DE PULVÉRISATION
3 TARGETS
SOUPAPE AUTOMATIQUE/MANUELLE
POMPE MÉCANIQUE À ENTRAÎNEMENT DIRECT
POMPE DE DIFFUSION
PEUT ÊTRE MIS À NIVEAU AVEC UNE FIXATION ROTATIVE POUR TENIR (4) PLAQUETTES DE 8 POUCES

L'Airco Temescal HRS 2550 est un système de pulvérisation cathodique. Il dispose de 3 cibles, d'une vanne automatique/manuelle, d'une pompe mécanique à entraînement direct et d'une pompe de diffusion. Il dispose également d'une alimentation électrique à fréquence variable. Peut être mis à niveau avec une tête de cryopompe CTI-10 reconstruite avec compresseur.
Données techniques
Dimensions : 16 pouces de haut x 25,5 pouces
diamètre (406 mm x 647,7 mm)
Fixation : carrousel de porte-substrats montés verticalement, capacité de basculement en option
Capacité : (minimum) 64 tranches de 2 pouces (51 mm)
Blindage : minimum 3 rebonds
Chaleur du substrat : maximum 3 kW
Nombre de cathodes : trois au maximum Vanne manuelle à soufflet d'entrée d'argon avec possibilité de dosage

Cellule de vide (y compris l'enceinte électronique) : 82,5 pouces de haut (avec la console
(avec console supérieure) x 64 pouces de large x 40 pouces de profondeur (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentation électrique (y compris les consoles de commande) :
36 pouces de haut x 25,5 pouces de large x 25,5 pouces de profondeur (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Taux de dépôt statique typique : 15,000
A/minute pour l'aluminium, 20 000 A/minute pour le cuivre
Distribution : � 5% avec masquage de la source
Taille de la cible : 8,25 pouces x 3,56 pouces (210 mm x 90 mm)
Tension de fonctionnement : potentiel cathodique de -400 à -800 V c.c. (taux de dépôt maximal à -400 à -500 V c.c.).
-400 à -500V dc)
Puissance maximale de fonctionnement : 5 KW. 0,2 à 7A
Pression de fonctionnement : 1 x 10-2 à 1 x 10-3 torr
Eau de refroidissement : (0,5 gpm à 20�C) par source

Puissance : 5 kW, courant réglable de 0,2A
à 7A ; tension de 50V dc à 800V dc ;
en fonction de la pression
Facteur de marche : 100
Mesure : courant de sortie, 0 à 1A, et 0 à
10A, échelle en courant continu ; tension cathode-terre,
0 à 1,5 kV c.c. ; tension anode-terre,
0 à 150 V c.c.
Verrouillages : alimentation électrique, portes des cabines, eau, couvercle de la chambre et pression de la chambre
Service requis : 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 phases

Vide limite : plage de 10-8 torr
Pompe de diffusion : 5300 litres/seconde, 10 pouces de haut x 16 pouces de diamètre intérieur
Pompe mécanique : 35 cfm (1000 litres/seconde, double étage)
Piège à froid : capacité de 4,5 litres ; surface de 2600 pouces carrés (1,67 m2)
Soupape de vide poussé : 406 mm (16 pouces) de diamètre intérieur, à soufflet d'étanchéité
Soupape de dérivation pour vide poussé : 75 mm (3 pouces) de diamètre intérieur, conductance variable
Vanne de famine et vanne d'ébauche : 51 mm (2 pouces) de diamètre intérieur
Actionnement des vannes : électropneumatique (toutes les vannes à vide)
Séquencement des vannes : manuel et automatique

Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat


Type de client Revendeur
Actif depuis 2014
Offres en ligne 46
Dernière activité 19 décembre 2024

Description

Fabricant : Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SYSTÈME DE PULVÉRISATION
3 TARGETS
SOUPAPE AUTOMATIQUE/MANUELLE
POMPE MÉCANIQUE À ENTRAÎNEMENT DIRECT
POMPE DE DIFFUSION
PEUT ÊTRE MIS À NIVEAU AVEC UNE FIXATION ROTATIVE POUR TENIR (4) PLAQUETTES DE 8 POUCES

L'Airco Temescal HRS 2550 est un système de pulvérisation cathodique. Il dispose de 3 cibles, d'une vanne automatique/manuelle, d'une pompe mécanique à entraînement direct et d'une pompe de diffusion. Il dispose également d'une alimentation électrique à fréquence variable. Peut être mis à niveau avec une tête de cryopompe CTI-10 reconstruite avec compresseur.
Données techniques
Dimensions : 16 pouces de haut x 25,5 pouces
diamètre (406 mm x 647,7 mm)
Fixation : carrousel de porte-substrats montés verticalement, capacité de basculement en option
Capacité : (minimum) 64 tranches de 2 pouces (51 mm)
Blindage : minimum 3 rebonds
Chaleur du substrat : maximum 3 kW
Nombre de cathodes : trois au maximum Vanne manuelle à soufflet d'entrée d'argon avec possibilité de dosage

Cellule de vide (y compris l'enceinte électronique) : 82,5 pouces de haut (avec la console
(avec console supérieure) x 64 pouces de large x 40 pouces de profondeur (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentation électrique (y compris les consoles de commande) :
36 pouces de haut x 25,5 pouces de large x 25,5 pouces de profondeur (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Taux de dépôt statique typique : 15,000
A/minute pour l'aluminium, 20 000 A/minute pour le cuivre
Distribution : � 5% avec masquage de la source
Taille de la cible : 8,25 pouces x 3,56 pouces (210 mm x 90 mm)
Tension de fonctionnement : potentiel cathodique de -400 à -800 V c.c. (taux de dépôt maximal à -400 à -500 V c.c.).
-400 à -500V dc)
Puissance maximale de fonctionnement : 5 KW. 0,2 à 7A
Pression de fonctionnement : 1 x 10-2 à 1 x 10-3 torr
Eau de refroidissement : (0,5 gpm à 20�C) par source

Puissance : 5 kW, courant réglable de 0,2A
à 7A ; tension de 50V dc à 800V dc ;
en fonction de la pression
Facteur de marche : 100
Mesure : courant de sortie, 0 à 1A, et 0 à
10A, échelle en courant continu ; tension cathode-terre,
0 à 1,5 kV c.c. ; tension anode-terre,
0 à 150 V c.c.
Verrouillages : alimentation électrique, portes des cabines, eau, couvercle de la chambre et pression de la chambre
Service requis : 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 phases

Vide limite : plage de 10-8 torr
Pompe de diffusion : 5300 litres/seconde, 10 pouces de haut x 16 pouces de diamètre intérieur
Pompe mécanique : 35 cfm (1000 litres/seconde, double étage)
Piège à froid : capacité de 4,5 litres ; surface de 2600 pouces carrés (1,67 m2)
Soupape de vide poussé : 406 mm (16 pouces) de diamètre intérieur, à soufflet d'étanchéité
Soupape de dérivation pour vide poussé : 75 mm (3 pouces) de diamètre intérieur, conductance variable
Vanne de famine et vanne d'ébauche : 51 mm (2 pouces) de diamètre intérieur
Actionnement des vannes : électropneumatique (toutes les vannes à vide)
Séquencement des vannes : manuel et automatique

Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat

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Fonctionnalité autre
-------------------
Heures de travail
Heures sous tension
État bon
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