description
Four RTP ANNEALSYS AS-Micro de 2017 + pompe + ordinateur
Parfait état. Date de 2017.
Livré avec :
- pompe à vide Agilent IDP3A01 et pompe d'évacuation
- ordinateur de controle, logiciel et code utilisateur.
- manuel
L'AS-Micro est un processeur thermique rapide compact de table de trois pouces avec capacité de vide dédié aux applications de recherche. Il peut traiter des substrats de quelques millimètres carrés jusqu'à un diamètre de 3 pouces ou carré. Des suscepteurs sont disponibles en option pour contenir de petits échantillons et pour traiter des substrats à faible absorption infrarouge.
La chambre de traitement en tube de quartz avec des brides en acier inoxydable et un four tubulaire à lampes halogènes infrarouges permet d'effectuer des traitements jusqu'à 1250°C avec des taux de rampe très rapides (> 250°C/s). Le régulateur de température ultramoderne assure un contrôle précis de la température.
La porte à mouvement horizontal avec plateau en quartz facilite l'accès pour le chargement et le déchargement des plaquettes et l'installation des thermocouples.
Caractéristiques
Le four offre le taux de rampe le plus élevé jusqu'à 250°C/s pour les plaquettes de 2 pouces.
Plage de température : RT à 1250°C
Vitesse de rampe jusqu'à 250°C/s sur un substrat de silicium de 2 pouces de diamètre, 200°C/s sur un substrat de 3 pouces.
Possibilité de mélange de gaz avec des régulateurs de débit massique
Plage de vide : Atm à 10-2 Torr (10-6 Torr avec pompe turbo en option)
Contrôle de la température par thermocouple avec régulateur de température numérique PID rapide
Contrôle complet par PC avec logiciel compatible Windows
pour laboratoire electrochimie et nanomatériaux semi conducteur / semiconductor / wafer
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