Spécifications

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Heures de travail
Heures sous tension
État en l'état
Aux normes locales ---------
Statut

description

Pompe à vide sèche iXH6045H
Présentation du produit
La série de pompes sèches iXH est spécialement conçue pour les processus exigeants de fabrication de semi-conducteurs, d'écrans plats et d'applications solaires. Elle offre un coût de possession réduit avec 10 % de consommation d'énergie en moins par rapport aux modèles précédents. La pompe est dotée d'un traitement amélioré des poudres avec la technologie Gas Buster™, d'une large plage de température de fonctionnement pour minimiser l'accumulation de sous-produits, et d'une technologie d'étanchéité améliorée pour prolonger la durée de vie de la pompe et réduire les risques de fuite.

Caractéristiques techniques
Modèle : ACHD02123300XS
Tension : 380-460V
Haute tension : 6000V
Module de gaz : Mode unique (débit de 44 sL/min)
Échappement : Standard sans clapet anti-retour
Joints : Standard
Moteur de pompe : 11 kW
Moteur du surpresseur : 7,5 kW
Applications
Applications high-k et low-k
Procédés SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN et EPI
CVD, PECVD et MOCVD
Décapage, gravure d'oxyde, gravure de métal et source d'implants
Caractéristiques techniques
Dimensions de l'appareil :
Longueur : 1080 mm
Largeur : 517 mm
Hauteur : 966 mm
Performances :
Vitesse de pompage : 5000 - 5200 m³/h
Vide limite : < 5 x 10-³ mbar
Pression d'entrée maximale : 1000 mbar
Refroidissement :
Débit d'eau : 12 l/min
Pression d'alimentation en eau : 6,9 bar (100 psig)
Caractéristiques principales
Vitesses de pompage de l'hydrogène élevées, idéales pour les procédés EPI et solaires avancés
Conception compacte avec un encombrement réduit pour une intégration facile dans les installations de fabrication
Conformité aux normes UL, CE et S2
Cette pompe est optimisée pour les environnements exigeants où l'amélioration des capacités de traitement, l'efficacité énergétique et une conception compacte sont cruciales. Pour plus de détails et de conseils opérationnels, veuillez vous référer au manuel complet du produit.

Veuillez noter que cette description a pu être traduite automatiquement, merci de nous contacter si vous avez besoin d'informations complémentaires. Les informations de cette annonce ne sont données qu'à titre indicatif. Nous recommandons de les vérifier avec le vendeur avant tout achat


Type de client Revendeur
Actif depuis 2024
Offres en ligne 23
Dernière activité 1 janvier 2025

Description

Pompe à vide sèche iXH6045H
Présentation du produit
La série de pompes sèches iXH est spécialement conçue pour les processus exigeants de fabrication de semi-conducteurs, d'écrans plats et d'applications solaires. Elle offre un coût de possession réduit avec 10 % de consommation d'énergie en moins par rapport aux modèles précédents. La pompe est dotée d'un traitement amélioré des poudres avec la technologie Gas Buster™, d'une large plage de température de fonctionnement pour minimiser l'accumulation de sous-produits, et d'une technologie d'étanchéité améliorée pour prolonger la durée de vie de la pompe et réduire les risques de fuite.

Caractéristiques techniques
Modèle : ACHD02123300XS
Tension : 380-460V
Haute tension : 6000V
Module de gaz : Mode unique (débit de 44 sL/min)
Échappement : Standard sans clapet anti-retour
Joints : Standard
Moteur de pompe : 11 kW
Moteur du surpresseur : 7,5 kW
Applications
Applications high-k et low-k
Procédés SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN et EPI
CVD, PECVD et MOCVD
Décapage, gravure d'oxyde, gravure de métal et source d'implants
Caractéristiques techniques
Dimensions de l'appareil :
Longueur : 1080 mm
Largeur : 517 mm
Hauteur : 966 mm
Performances :
Vitesse de pompage : 5000 - 5200 m³/h
Vide limite : < 5 x 10-³ mbar
Pression d'entrée maximale : 1000 mbar
Refroidissement :
Débit d'eau : 12 l/min
Pression d'alimentation en eau : 6,9 bar (100 psig)
Caractéristiques principales
Vitesses de pompage de l'hydrogène élevées, idéales pour les procédés EPI et solaires avancés
Conception compacte avec un encombrement réduit pour une intégration facile dans les installations de fabrication
Conformité aux normes UL, CE et S2
Cette pompe est optimisée pour les environnements exigeants où l'amélioration des capacités de traitement, l'efficacité énergétique et une conception compacte sont cruciales. Pour plus de détails et de conseils opérationnels, veuillez vous référer au manuel complet du produit.

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Dernière activité 1 janvier 2025

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