description
Contrôlé par PLC, il offre une lecture en temps réel et en anglais des paramètres de fonctionnement du système, ainsi que des mesures correctives en cas d'interruption.
Plasma actif pour le nettoyage de routine des surfaces d'échantillons
Plasma RIE pour le nettoyage agressif d'échantillons non sensibles à l'ESD
Plasma sans électrons en aval pour le nettoyage des composants électroniques sensibles.
Le nettoyeur au plasma Glen R3A peut être utilisé dans une séquence de plasma simple ou double.
Source d'alimentation plasma Advanced Energy PE-1000 AC ; 500w@ 40khz
Électrodes : (2) ensembles d'électrodes de 14 x 14 pouces ; capacité de 8 plateaux d'échantillons.
3 modes de plasma :
PLASMA ACTIF pour le nettoyage de routine des surfaces d'échantillons
RIE PLASMA pour le nettoyage agressif des échantillons non sensibles à l'ESD
PLASMA SANS ELECTRON pour le nettoyage des composants électroniques sensibles.
Entrées de gaz : doubles entrées de gaz avec vannes à aiguille, contrôlées par PLC
Interface informatique : Interface RS 232
Alimentation électrique : 110Volt
Courant nominal à pleine charge : 13 ampères
Pompe à vide non incluse
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