description
Détection et classification automatiques des défauts
Inspection automatisée des matrices
Métrologie dimensionnelle de précision
Métrologie des dimensions critiques (CD) et des recouvrements
Fonctionnement automatique et manuel
Détection des défauts de surface et de bord
Détection des défauts de texture (par exemple, taches, etc.)
Détection d'objets manquants ou déformés
Capacité étendue d'examen des défauts
Cartes graphiques et archivage d'images
Importation de fichiers CAD
Les systèmes de détection de défauts et de métrologie de la série NGS sont conçus pour les applications nécessitant une détection optique automatisée des défauts et des mesures dimensionnelles de précision sur les plaquettes et autres pièces. Ils conviennent parfaitement à une double utilisation en tant qu'outils de production ou en tant que systèmes polyvalents de développement de processus. Ces systèmes offrent un choix de composants de microscope haut de gamme (Olympus/Nikon/Leica), un éclairage BF/ DF/ DIC et une mise en scène par moteur linéaire avec des échelles de 0,02 micron. Plusieurs configurations sont disponibles en fonction de vos besoins. Elles comprennent : une plate-forme de 200 mm, une plate-forme de 300 mm et une plate-forme robotisée pour la manipulation automatisée des plaquettes et des pièces.
Système avancé de métrologie dimensionnelle et de détection des défauts au niveau de la plaquette
platine motorisée avec déplacement XY de 8 "x8
mise au point motorisée
inspection en fond clair et en fond noir
5-100 défauts/mesures par seconde en général
vitesse de mise en scène de 200 mm/s
lumière coaxiale et rétroéclairage (lumière transmise) contrôlés par logiciel avec deux alimentations en fibre optique de 150w
capacité de charge maximale de la platine 50lbs
base en granit et colonne Z
étages linéaires en boucle fermée et axe Z avec retour de position et systèmes d'encodeurs intelligents Micro-e Mercury 3500 offrant une résolution supérieure à 1um.
Logiciel : RMS Vision Systems avec graphiques en couleur, archivage des images et examen hors ligne des défauts
Microscope Nikon avec rotation motorisée de l'objectif, tête d'observation trinoculaire ultra-large inclinable avec oculaires 10x
Hitachi CCTV, Windows XP
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